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1. WO2014001090 - VERFAHREN UND PUMPENANORDNUNG ZUM EVAKUIEREN EINER KAMMER

Veröffentlichungsnummer WO/2014/001090
Veröffentlichungsdatum 03.01.2014
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2013/062179
Internationales Anmeldedatum 12.06.2013
IPC
F04C 18/16 2006.01
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
CRotationskolben- oder Schwenkkolbenmaschinen für Flüssigkeiten; Rotationskolben- oder Schwenkkolbenarbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
18Rotationskolbenpumpen besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe
08mit Kämmeingriff, d.h. die Eingriffskörper stehen in ähnlichem Eingriff wie bei Zahnradgetrieben
12Nicht-innenachsige Maschinen
14mit verzahnten Rotationskolben
16schraubenverzahnt oder schrägverzahnt , z.B. pfeilverzahnt
F04C 23/00 2006.01
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
CRotationskolben- oder Schwenkkolbenmaschinen für Flüssigkeiten; Rotationskolben- oder Schwenkkolbenarbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
23Kombinationen mehrerer Rotationskolbenpumpen oder Schwenkkolbenpumpen, besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe; Pumpenanlagen, besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe; mehrstufige Pumpen, besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe
F04C 25/02 2006.01
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
CRotationskolben- oder Schwenkkolbenmaschinen für Flüssigkeiten; Rotationskolben- oder Schwenkkolbenarbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
25Ausbildung von Pumpen für Gase oder Dämpfe für besondere Zwecke
02Hochvakuumpumpen
F04C 28/02 2006.01
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
CRotationskolben- oder Schwenkkolbenmaschinen für Flüssigkeiten; Rotationskolben- oder Schwenkkolbenarbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
28Steuern, Regeln oder Überwachen von oder Sicherheitsmaßnahmen für Pumpen oder Pumpenanlagen, besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe
02besonders ausgebildet für mehrere in Reihe oder parallel geschaltete Pumpen
F04C 28/06 2006.01
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
CRotationskolben- oder Schwenkkolbenmaschinen für Flüssigkeiten; Rotationskolben- oder Schwenkkolbenarbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
28Steuern, Regeln oder Überwachen von oder Sicherheitsmaßnahmen für Pumpen oder Pumpenanlagen, besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe
06besonders ausgebildet für Abstellbetrieb, Anfahrbetrieb, Entlastungsbetrieb oder Leerlaufbetrieb
CPC
F04C 14/08
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
14Control of, monitoring of, or safety arrangements for, machines, pumps or pumping installations
08characterised by varying the rotational speed
F04C 18/084
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
18Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
08of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
082Details specially related to intermeshing engagement type pumps
084Toothed wheels
F04C 18/086
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
18Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
08of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
082Details specially related to intermeshing engagement type pumps
086Carter
F04C 18/16
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
18Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
08of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
12of other than internal-axis type
14with toothed rotary pistons
16with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
F04C 2/10
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
2Rotary-piston machines or pumps
08of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
10of internal-axis type with the outer member having more teeth or tooth-equivalents, e.g. rollers, than the inner member
F04C 2220/30
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
2220Application
30Use in a chemical vapor deposition [CVD] process or in a similar process
Anmelder
  • STERLING INDUSTRY CONSULT GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • KÖSTERS, Heiner
  • TEMMING, Jörg
  • KÜHLEIN, Daniel
Vertreter
  • GLAWE DELFS MOLL
Prioritätsdaten
12174031.028.06.2012EP
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN UND PUMPENANORDNUNG ZUM EVAKUIEREN EINER KAMMER
(EN) METHOD AND PUMP ARRANGEMENT FOR EVACUATING A CHAMBER
(FR) PROCÉDÉ ET ENSEMBLE POMPE PERMETTANT DE FAIRE LE VIDE DANS UNE CHAMBRE
Zusammenfassung
(DE)
Verfahren zum Evakuieren einer Kammer (42), bei dem eine Pumpenanordnung aus einer Boosterpumpe (46) und einer nachfolgenden Vorpumpe (47) an die Kammer (42) angeschlossen sind. Die Boosterpumpe (46) beschleunigt und Gas aus der Kammer (42) in die Boosterpumpe (46) eingelassen, so dass der Boosterpumpe (46) vorübergehend eine Übermaßleistung entnommen wird, die über die von dem Antrieb (17) der Boosterpumpe (46) bereitgestellte Leistung hinausgeht. Das Gas wird zum Ausgang der Boosterpumpe (46) gefördert und durch ein Bypass-Ventil (49) abgegeben, solange der Ausgangsdruck der Boosterpumpe (46) oberhalb eines vorgegebenen Schwellwerts liegt. Das Gas wird an die Vorpumpe (47) weitergeleitet, wenn der Ausgangsdruck der Boosterpumpe (46) unterhalb den Schwellwert abgesunken ist. Die Erfindung betrifft außerdem eine Pumpenanordnung zum Durchführen des Verfahrens.
(EN)
Method for evacuating a chamber (42), according to which a pump arrangement comprising a booster pump (46) and a downstream forepump (47) are connected to said chamber (42). The booster pump (46) is accelerated and gas from the chamber (42) is admitted into said booster pump (46) such that an excess power is temporarily drawn from the booster pump (46), which power goes beyond that provided by the drive (17) to the booster pump (46). The gas is conveyed to the outlet of the booster pump (46) and discharged through a bypass valve (49) as long as the outlet pressure of the booster pump (46) lies above a specified threshold value. The gas is passed to the forepump (47) when the outlet pressure of the booster pump (46) has fallen below the threshold value. The invention further relates to a pump arrangement for carrying out the method.
(FR)
Procédé permettant de faire le vide dans une chambre (42), selon lequel un ensemble pompe, constitué d'une pompe booster (46) et d'une pompe à vide préliminaire (47) montée en aval, est raccordé à la chambre (42). La pompe booster (46) est accélérée et du gaz provenant de la chambre (42) est introduit dans la pompe booster (46), si bien qu'une puissance excessive est prélevée temporairement dans la pompe booster (46), ladite puissance excessive dépassant la puissance fournie par le dispositif d'entraînement (17) de la pompe booster (46). Le gaz est acheminé vers la sortie de la pompe booster (46) et évacué par une soupape de dérivation (49) aussi longtemps que la pression de sortie de la pompe booster (46) est supérieure à une valeur de seuil prédéfinie. Le gaz est transmis à la pompe à vide préliminaire (47) lorsque la pression de sortie de la pompe booster (46) a chuté au-dessous de la valeur de seuil. La présente invention concerne en outre un ensemble pompe permettant la mise en oeuvre dudit procédé.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten