In Bearbeitung

Bitte warten ...

Einstellungen

Einstellungen

1. WO2014000763 - METHOD FOR DESIGNING AN ILLUMINATION OPTICS AND ILLUMINATION OPTICS

Veröffentlichungsnummer WO/2014/000763
Veröffentlichungsdatum 03.01.2014
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2012/062254
Internationales Anmeldedatum 25.06.2012
IPC
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
G03F 7/20 (2006.01)
CPC
G03F 7/70116
G03F 7/705
Anmelder
  • CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE (AllExceptUS)
  • PATRA, Michael [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder
  • PATRA, Michael; DE
Vertreter
  • RAU, SCHNECK & HÜBNER; Königstrasse 2 90402 Nürnberg, DE
Prioritätsdaten
Veröffentlichungssprache Englisch (EN)
Anmeldesprache Englisch (EN)
Designierte Staaten
Titel
(EN) METHOD FOR DESIGNING AN ILLUMINATION OPTICS AND ILLUMINATION OPTICS
(FR) PROCÉDÉ DE CONCEPTION D'UNE OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, ET OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE
Zusammenfassung
(EN)
Method for designing an allocation of pupil facets (11) to field facets (7) of an illumination optics (23) for an EUV-projection exposure system (1) taking into account variations of the corresponding intensity distribution in an imaging pupil at different length scales.
(FR)
L'invention concerne un procédé de conception d'une optique d'éclairage (23) comprenant l'attribution de facettes de pupilles (11) à des facettes de champ (7) pour un système d'exposition par projection EUV (1) prenant en compte des variations de la distribution d'intensité correspondante dans une pupille d'imagerie à différentes échelles de longueur.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten