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1. (WO2013124402) STATIONSANORDNUNG ZUR BEARBEITUNG UND/ODER VERMESSEN VON HALBLEITERSCHEIBEN SOWIE BEARBEITUNGSVERFAHREN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2013/124402    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2013/053524
Veröffentlichungsdatum: 29.08.2013 Internationales Anmeldedatum: 22.02.2013
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastraße 27c 80636 München (DE)
Erfinder: SCHELLENBERGER, Martin; (DE).
LEWKE, Dirk; (DE)
Vertreter: PFENNING, MEINIG & PARTNER GBR; Theresienhöhe 13 80339 München (DE)
Prioritätsdaten:
12156856.2 24.02.2012 EP
Titel (DE) STATIONSANORDNUNG ZUR BEARBEITUNG UND/ODER VERMESSEN VON HALBLEITERSCHEIBEN SOWIE BEARBEITUNGSVERFAHREN
(EN) STATION ARRANGEMENT FOR PROCESSING AND/OR MEASURING SEMICONDUCTOR DISKS, AND PROCESSING METHOD
(FR) ENSEMBLE POSTE PERMETTANT D'USINER ET/OU DE MESURER DES TRANCHES DE SEMI-CONDUCTEUR ET PROCÉDÉ D'USINAGE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine Stationsanordnung zur Bearbeitung und/oder Vermessung von Halbleiterscheiben bzw. -wafern, die mindestens ein Belademodul, mindestens eine Prozessstation zum Bearbeiten der Halbleiterscheiben und/oder mindestens eine Vermessstation zum Vermessen einer Größe der Halbleiterscheiben, mindestens eine Justage-/Kühl-Station sowie mindestens einen Transportroboter, der in einem Transportgehäuse angeordnet ist, als Einzel-Module umfasst. Der Transportroboter ermöglicht den Transport der zu bearbeitenden Halbleiterscheiben zwischen dem Belademodul und der jeweiligen Prozessstation zur Bearbeitung der Halbleiterscheiben und/oder der mindestens einen Vermessstation zum Vermessen der Halbleiterscheiben. Die Erfindung betrifft die besondere Anordnung der Justage-/Kühl-Station innerhalb der Stationsanordnung, so dass ein möglichst geringer Platzbedarf der einzelnen Module innerhalb der Stationsanordnung und somit eine platzsparende Bauweise der Stationsanordnung insgesamt resultiert.
(EN)The invention relates to a station arrangement for processing and/or measuring semiconductor disks or wafers, comprising at least one loading module, at least one processing station for processing the semiconductor disks and/or at least one measuring station for measuring a variable of the semiconductor disks, at least one adjusting/cooling station, and at least one transport robot, which is arranged in a transporting housing, as individual modules. The transport robot allows the transport of the semiconductor disks to be processed between the loading module and the respective processing station in order to process the semiconductor disks and/or the at least one measuring station in order to measure the semiconductor disks. The invention relates to the particular arrangement of the adjusting/cooling station within the station arrangement such that the space required by the individual modules within the station arrangement is as small as possible, thus resulting in a space-saving design of the overall station arrangement.
(FR)L'invention concerne un ensemble poste permettant d'usiner et/ou de mesurer des tranches de semi-conducteur. Ledit ensemble comprend sous la forme de modules individuels : au moins un module de chargement ; au moins un poste d'usinage des tranches de semi-conducteur et/ou au moins un poste de mesure permettant de mesurer la taille des tranches de semi-conducteur ; au moins un poste d'ajustement/de refroidissement ; et au moins un robot de transport, qui est disposé dans un boîtier de transport. Le robot de transport permet de transporter les tranches de semi-conducteur à usiner entre le module de chargement et le poste d'usinage respectif des tranches de semi-conducteur et/ou le ou les postes de mesure permettant de mesurer les tranches de semi-conducteur. L'invention concerne l'agencement particulier du poste d'ajustement/de refroidissement à l'intérieur de l'ensemble poste, de sorte que cela entraîne un encombrement extrêmement réduit pour les modules individuels à l'intérieur de l'ensemble poste et donc une construction peu encombrante pour l'ensemble poste.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)