WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Suche
 
Durchsuchen
 
Übersetzen
 
Optionen
 
Aktuelles
 
Einloggen
 
Hilfe
 
Maschinelle Übersetzungsfunktion
1. (WO2012139627) BIEGSAME TRÄGERHALTERUNG, VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM LÖSEN EINES TRÄGERSUBSTRATS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2012/139627    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2011/055630
Veröffentlichungsdatum: 18.10.2012 Internationales Anmeldedatum: 11.04.2011
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    16.03.2012    
IPC:
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Anmelder: EV GROUP E. THALLNER GMBH [AT/AT]; 1, DI Erich Thallner Straße A-4782 St. Florian am Inn (AT) (For All Designated States Except US).
BURGGRAF, Jürgen [AT/AT]; (AT) (For US Only).
BURGSTALLER, Daniel [AT/AT]; (AT) (For US Only)
Erfinder: BURGGRAF, Jürgen; (AT).
BURGSTALLER, Daniel; (AT)
Vertreter: SCHWEIGER, Johannes; 22, Turmstraße 40878 Ratingen (DE)
Prioritätsdaten:
Titel (DE) BIEGSAME TRÄGERHALTERUNG, VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM LÖSEN EINES TRÄGERSUBSTRATS
(EN) BENDABLE CARRIER MOUNTING, DEVICE AND METHOD FOR RELEASING A CARRIER SUBSTRATE
(FR) ÉLÉMENT DE MAINTIEN DE SUPPORT FLEXIBLE, DISPOSITIF ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE DÉTACHER UN SUBSTRAT DE SUPPORT
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine biegsame Trägerhalterung (1) zur Halterung eines Trägersubstrats (13) beim Lösen des Trägersubstrats (13) von einem Produktsubstrat (11), wobei Lösemittel (1, 28) zum Ablösen des Produktsubstrats (11) unter Biegung des Trägersubstrats (13) vorgesehen sind. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zum Lösen eines Trägersubstrats (13) von einem Produktsubstrat (11) in einer Löserichtung (L) mit folgenden Merkmalen: einer in Löserichtung (L) biegsamen Trägerhalterung (1) zur Halterung des Trägersubstrats (13), einer Substrathalterung (18) zur Halterung des Produktsubstrats (11) und Lösemitteln (1, 15, 15', 16, 28) zum Ablösen des Trägersubstrats (13) vom Produktsubstrat (11) unter Biegung des Trägersubstrats (13). Darüber hinaus betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Lösen eines Trägersubstrats von einem Produktsubstrat in einer Löserichtung (L) mit folgenden Schritten, insbesondere folgendem Ablauf: Halterung des Produktsubstrats mit einer Substrathalterung und Halterung des Trägersubstrats mit einer in Löserichtung (L) biegsamen Trägerhalterung und Ablösen des Trägersubstrats vom Produktsubstrat unter Biegung des Produktsubstrats.
(EN)The invention relates to a bendable carrier mounting (1) for holding a carrier substrate (13) upon releasing of the carrier substrate (13) from a product substrate (11), wherein solvents (1, 28) for releasing the product substrate (11) while bending the carrier substrate (13) are provided. The invention further relates to a device for releasing a carrier substrate (13) from a product substrate (11) in a releasing direction (L) having the following features: a carrier mounting (1) which can be bent in the releasing direction (1) for holding the carrier substrate (13), a substrate holder (18) for holding the product substrate (11) and solvents (1, 15, 15', 16, 28) for releasing the carrier substrate (13) from the product substrate (11) while bending the carrier substrate (13). The invention also relates to a method for releasing a carrier substrate from a product substrate in a releasing direction (L) having the following steps, in particular having the following sequence: Holding the product substrate by means of a substrate holder and holding the carrier substrate by means of a carrier mounting, which can bend in a releasing direction (L), and releasing the carrier substrate from the product substrate while bending the product substrate.
(FR)La présente invention concerne un élément de maintien de support flexible (1) conçu pour maintenir un substrat de support (13) lorsque le substrat de support (13) est détaché d'un substrat de produit (11). Des moyens de détachement (1, 28) permettent de détacher le substrat de produit (11) en faisant fléchir le substrat de support (13). L'invention concerne également un dispositif permettant de détacher un substrat de support (13) d'un substrat de produit (11) dans une direction de détachement (L), caractérisé par : un élément de maintien de support (1) flexible dans la direction de détachement (L), conçu pour maintenir le substrat de support (13), un élément de maintien de substrat (18) conçu pour maintenir le substrat de produit (11), ainsi que des moyens de détachement (1, 15, 15', 16, 28) permettant de détacher le substrat de support (13) du substrat de produit (11) en faisant fléchir le substrat de support (13). L'invention concerne en outre un procédé permettant de détacher un substrat de support d'un substrat de produit dans une direction de détachement (L), comprenant les étapes suivantes, notamment dans cet ordre : maintien du substrat de produit avec un élément de maintien de support, maintien du substrat de support avec un élément de maintien de support flexible dans la direction de détachement (L), puis détachement du substrat de support du substrat de produit avec fléchissement du substrat de produit.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)