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1. (WO2012130987) VORRICHTUNG ZUR ÜBERGABE EINES WAFERS

Pub. No.:    WO/2012/130987    International Application No.:    PCT/EP2012/055699
Publication Date: 04.10.2012 International Filing Date: 29.03.2012
IPC: H01L 21/677
Applicants: KSL-KUTTLER AUTOMATION SYSTEMS GMBH
VAN DERMEIJ, Henk
Inventors: VAN DERMEIJ, Henk
Title: VORRICHTUNG ZUR ÜBERGABE EINES WAFERS
Abstract:
Eine Vorrichtung (6) zur Übergabe eines Wafers (5) in ein Magazin, mit einem angetriebenen Transportband (8, 9) mit zwei Umlaufpunkten (10, 11), umfasst ein expansives Umlaufprofil (16).