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1. WO2011138055 - VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER TOPOGRAPHIE EINER OBERFLÄCHE EINES OBJEKTS

Veröffentlichungsnummer WO/2011/138055
Veröffentlichungsdatum 10.11.2011
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2011/002309
Internationales Anmeldedatum 06.05.2011
IPC
G01B 11/25 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
24zum Messen von Umrisslinien oder Krümmungen
25durch Projizieren eines Musters, z.B. Moiré-Streifen, auf den Gegenstand
G01B 11/30 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
30zum Messen der Rauheit oder der Unregelmäßigkeit von Oberflächen
G01N 21/95 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung von Submillimeter-Wellen, infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht
84Systeme, besonders ausgebildet für spezielle Anwendungen
88Untersuchen der Anwesenheit von Fehlern oder Verunreinigungen
95gekennzeichnet durch das Material oder die Form des zu untersuchenden Gegenstandes
CPC
G01B 11/2513
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
2513with several lines being projected in more than one direction, e.g. grids, patterns
G01B 11/2522
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
2518Projection by scanning of the object
2522the position of the object changing and being recorded
G01N 21/9501
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
9501Semiconductor wafers
Anmelder
  • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • LAZAREVA, Irina [RU]/[DE] (UsOnly)
  • NUTSCH, Andreas [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • LAZAREVA, Irina
  • NUTSCH, Andreas
Vertreter
  • GAGEL, Roland
Prioritätsdaten
10 2010 019 668.107.05.2010DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER TOPOGRAPHIE EINER OBERFLÄCHE EINES OBJEKTS
(EN) METHOD FOR DETERMINING THE TOPOGRAPHY OF A SURFACE OF AN OBJECT
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE LA TOPOGRAPHIE D'UNE SURFACE D'UN OBJET
Zusammenfassung
(DE)
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur eindeutigen und referenzfreien Bestimmung der Topographie einer Oberfläche (20) eines Objekts (11), bei der mit einem kollimierten Lichtstrahl ein Muster auf die Oberfläche (20) projiziert und ein Bild (26) einer Intensitätsverteilung des reflektierten Lichtbündels in einer Ebene (24) erfasst wird, die einen Abstand zur Oberfläche (20) aufweist. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass mindestens ein weiteres Bild (27a, 27b) der Intensitätsverteilung des von der Oberfläche (20) reflektierten Lichtbündels in einem zweiten Abstand oder bei einem veränderten Neigungswinkel der Oberfläche (20) zur Ebene (24) erfasst wird. Aus dem Vergleich der beiden Bilder (26, 27a, 27b) wird dann unter Berücksichtigung der unterschiedlichen Abstände bzw. Neigungswinkel die Topographie der Oberfläche (20) berechnet. Das Verfahren kommt ohne eine Referenzoberfläche und die damit verbundenen Justageproblerne aus und lässt sich mit geringem Zeit- und Kostenaufwand durchführen.
(EN)
The invention relates to a method for the unambiguous and reference-free determination of the topography of a surface (20) of an object (11), wherein a pattern is projected onto the surface (20) by a collimated beam of light and an image (26) of an intensity distribution of the reflected pencil of rays is detected in a plane (24) which is arranged at a distance from the surface (20). The method is characterised in that at least one further image (27a, 27b) of the intensity distribution of the pencil of rays that is reflected by the surface (20) is detected at a second distance or at a changed angle of inclination of the surface (20) with respect to the plane (24). Then the topography of the surface (20) is calculated from the comparison of the two images (26, 27a, 27b) taking into consideration the different distances or angles of inclination. The method does not require a reference surface and the adjustment problems associated therewith and can be carried out quickly and at low cost.
(FR)
La présente invention concerne un procédé de détermination sans équivoque et libre de référence de la topographie d'une surface (20) d'un objet (11), un modèle étant projeté sur la surface (20) avec un rayon lumineux collimaté et une image (26) d'une répartition d'intensité du faisceau lumineux réfléchi dans un plan (24) qui se trouve à une certaine distance par rapport à la surface (20) étant détectée. Le procédé se caractérise en ce qu'au moins une autre image (27a, 27b) de la répartition d'intensité du faisceau lumineux réfléchi par la surface (20) à une deuxième distance ou avec un angle d'inclinaison modifié de la surface (20) par rapport au plan (24) est détectée. À partir de la comparaison des deux images (26, 27a, 27b), la topographie de la surface (20) est calculée en prenant en compte les différentes distances ou différents angles d'inclinaison. Le procédé se passe de surface de référence et des problèmes d'ajustement associés et peut être réalisé en moins de temps et plus économiquement.
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