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1. WO2011134732 - WHEATSTONEBRÜCKE MIT XMR-SPINVALVE-SYSTEMEN

Veröffentlichungsnummer WO/2011/134732
Veröffentlichungsdatum 03.11.2011
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2011/054933
Internationales Anmeldedatum 30.03.2011
IPC
G01R 33/09 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
RMessen elektrischer Größen; Messen magnetischer Größen
33Anordnungen oder Instrumente zum Messen magnetischer Größen
02Messen der Richtung oder des Betrages von magnetischen Feldern oder des magnetischen Kraftflusses
06mit galvano-magnetischen Vorrichtungen
09Vorrichtungen mit magnetischer Widerstandsänderung
G01R 33/00 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
RMessen elektrischer Größen; Messen magnetischer Größen
33Anordnungen oder Instrumente zum Messen magnetischer Größen
CPC
B82Y 25/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
25Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
G01R 33/0052
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
0052Manufacturing aspects; Manufacturing of single devices, i.e. of semiconductor magnetic sensor chips
G01R 33/093
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
06using galvano-magnetic devices, e.g. Hall effect devices; using magneto-resistive devices
09Magnetoresistive devices
093using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
G01R 33/096
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
06using galvano-magnetic devices, e.g. Hall effect devices; using magneto-resistive devices
09Magnetoresistive devices
096anisotropic magnetoresistance sensors
Anmelder
  • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • RÜHRIG, Manfred [DE]/[DE] (UsOnly)
  • WEISS, Roland [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • RÜHRIG, Manfred
  • WEISS, Roland
Gemeinsamer Vertreter
  • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
Prioritätsdaten
10 2010 018 874.330.04.2010DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) WHEATSTONEBRÜCKE MIT XMR-SPINVALVE-SYSTEMEN
(EN) WHEATSTONE BRIDGE HAVING XMR SPIN-VALVE SYSTEMS
(FR) PONT DE WHEATSTONE À SYSTÈMES DE VALVE DE SPIN XMR
Zusammenfassung
(DE)
Eine Wheatstonebrücke weist in Brückenschaltung verschaltete Brückenelemente (1, 2, 3, 4) auf, die jeweils aus XMR-/GMR- Spinvalve-Systemen bestehen. Zwei ausgewählte, diagonal zueinander angeordnete Brückenelemente (2, 4) werden mit Ionen beschossen, wodurch der XMR-/GMR-Effekt der beiden ausgewählten Brückenelemente reduziert oder zerstört wird. Vorteilhaft wird in diesem System eine monolithisch integrierbare Brückenstruktur bei geringem Konditionierungsaufwand erzielt.
(EN)
The invention relates to a Wheatstone bridge comprising bridge elements (1, 2, 3, 4) connected in a bridge circuit, each consisting of XMR/GMR spin-valve systems. Two selected bridge elements (2, 4) arranged diagonally to each other are bombarded with ions, whereby the XMR/GMR effect of the two selected bridge elements is reduced or destroyed. A monolithically integratable bridge structure is advantageously achieved in said system with low conditioning expenditure.
(FR)
L'invention concerne un pont de Wheastone présentant des éléments de pont (1, 2, 3, 4) montés en pont, qui sont constitués respectivement de systèmes de valve de spin XMR/GMR. Deux éléments de pont (2, 4) sélectionnés, montés en diagonale, sont bombardés par des ions, de sorte que l'effet XMR/GMR des deux éléments de pont sélectionnés est réduit ou annulé. Avantageusement, on obtient dans ce système, une structure en pont monolithiquement intégrable, pour une faible dépense en conditionnement.
Auch veröffentlicht als
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