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1. (WO2011036250) ELEKTROOPTISCHES BAUELEMENT, VERWENDUNG UND HERSTELLUNG DES BAUELEMENTS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2011/036250    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2010/064143
Veröffentlichungsdatum: 31.03.2011 Internationales Anmeldedatum: 24.09.2010
IPC:
G02F 1/35 (2006.01), G02F 1/355 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Anmelder: RWTH AACHEN [DE/DE]; Templergraben 55 52062 Aachen (DE) (For All Designated States Except US).
GESELLSCHAFT FÜR ANGEWANDTE MIKRO- UND OPTOELEKTRONIK MIT BESCHRÄNKTER HAFTUNG - AMO GMBH [DE/DE]; Otto-Blumenthal-Str. 25 52074 Aachen (DE) (For All Designated States Except US).
WÄCHTER, Markus [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MATHEISEN, Christopher [DE/DE]; (DE) (For US Only).
NAGEL, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KURZ, Heinrich [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BOLTEN, Jens [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WAHLBRINK, Thorsten [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: WÄCHTER, Markus; (DE).
MATHEISEN, Christopher; (DE).
NAGEL, Michael; (DE).
KURZ, Heinrich; (DE).
BOLTEN, Jens; (DE).
WAHLBRINK, Thorsten; (DE)
Vertreter: EISENFÜHR SPEISER & PARTNER; Anna-Louisa-Karsch-Straße 2 10178 Berlin (DE)
Prioritätsdaten:
10 2009 045 037.8 25.09.2009 DE
Titel (DE) ELEKTROOPTISCHES BAUELEMENT, VERWENDUNG UND HERSTELLUNG DES BAUELEMENTS
(EN) ELECTRO-OPTIC COMPONENT, USE AND PRODUCTION OF SAID COMPONENT
(FR) COMPOSANT ÉLECTRO-OPTIQUE, UTILISATION ET PRODUCTION DE CE COMPOSANT
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein elektrooptisches Bauelement (1, 2, 3, 4, 5, 6) - insbesondere Strahlungsquelle, Detektor und/oder Modulator - zur optischen Signalerzeugung, Modulation bzw. Detektion im Millimeterwellenlängenbereich, Terahertz (THz)-Frequenzbereich und/oder Infrarotbereich, mit einer Silizium und/oder Germanium basierten Anordnung (100, 200, 300, 400, 500, 600), vorzugsweise als Wellenleiteranordnung. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Silizium und/oder Germanium basierte Anordnung (100, 200, 300, 400, 500, 600) aufweist: ein Silizium- und/oder Germaniummaterial (102, 202, 302, 402, 502, 602) mit einer Oberfläche (101, 201, 301, 401, 501, 601 ); wobei die Oberfläche (101, 201, 301, 401, 501, 601 ) mit einer Halogenanreicherung chemisch modifiziert und mit dem Silizium- und/oder Germaniummaterial (102, 202, 302, 402, 502, 602) elektrooptisch aktiviert ist.
(EN)The invention relates to an electro-optic component (1, 2, 3, 4, 5, 6) - in particular a radiation source, a detector, and/or a modulator - for optically generating a signal and modulating and/or detecting in the millimeter wavelength range, terahertz (THz) frequency range, and/or infrared range. The electro-optic component comprises an arrangement (100, 200, 300, 400, 500, 600), preferably a waveguide arrangement, based on silicon and/or germanium. According to the invention, the arrangement (100, 200, 300, 400, 500, 600) based on silicon and/or germanium has a silicon and/or germanium material (102, 202, 302, 402, 502, 602) with a surface (101, 201, 301, 401, 501, 601). The surface (101, 201, 301, 401, 501, 601 ) is chemically modified by a halogen enrichment and is electro-optically activated with the silicon and/or germanium material (102, 202, 302, 402, 502, 602).
(FR)L'invention concerne un composant électro-optique (1, 2, 3, 4, 5, 6) - en particulier source de rayonnement, détecteur et/ou modulateur - pour la production de signaux optiques, la modulation et/ou la détection dans une plage de longueurs d'onde millimétriques, une bande de fréquence tétrahertz (Thz) et/ou un domaine infrarouge, comprenant un dispositif à base de silicium et/ou de germanium (100, 200, 300, 400, 500, 600), de préférence en tant que dispositif guide d'ondes. L'invention est caractérisée en ce que le dispositif à base de silicium et/ou de germanium (100, 200, 300, 400, 500, 600) présente un matériau en silicium et/ou en germanium (102, 202, 302, 402, 502, 602) pourvu d'une surface (101, 201, 301, 401, 501, 601 ); et en ce que la surface (101, 201, 301, 401, 501, 601 ) est modifiée chimiquement par un enrichissement en halogène, et est activée électro-optiquement par un matériau en silicium et/ou en germanium (102, 202, 302, 402, 502, 602).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)