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1. (WO2011036209) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SUBSTRATS MIT EINER FARBIGEN INTERFERENZFILTERSCHICHT, DIESES SUBSTRAT, ENTHALTEND EINE FARBIGE INTERFERENZFILTERSCHICHT, DIE VERWENDUNG DIESES SUBSTRATS ALS FARBIGE SOLARZELLE ODER ALS FARBIGES SOLARMODUL ODER ALS BESTANDTEIL HIERVON SOWIE EIN ARRAY, UMFASSEND MINDESTENS ZWEI DIESER SUBSTRATE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2011/036209    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2010/064052
Veröffentlichungsdatum: 31.03.2011 Internationales Anmeldedatum: 23.09.2010
IPC:
H01L 31/0216 (2006.01)
Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
HERGERT, Frank [DE/DE]; (DE) (For US Only).
THYEN, Jan Rudolf [DE/DE]; (DE) (For US Only).
PROBST, Volker [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: HERGERT, Frank; (DE).
THYEN, Jan Rudolf; (DE).
PROBST, Volker; (DE)
Allgemeiner
Vertreter:
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Prioritätsdaten:
09012122.9 23.09.2009 EP
Titel (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SUBSTRATS MIT EINER FARBIGEN INTERFERENZFILTERSCHICHT, DIESES SUBSTRAT, ENTHALTEND EINE FARBIGE INTERFERENZFILTERSCHICHT, DIE VERWENDUNG DIESES SUBSTRATS ALS FARBIGE SOLARZELLE ODER ALS FARBIGES SOLARMODUL ODER ALS BESTANDTEIL HIERVON SOWIE EIN ARRAY, UMFASSEND MINDESTENS ZWEI DIESER SUBSTRATE
(EN) METHOD FOR PRODUCING A SUBSTRATE HAVING A COLORED INTERFERENCE FILTER LAYER, SAID SUBSTRATE COMPRISING A COLORED INTERFERENCE FILTER LAYER, THE USE OF SAID SUBSTRATE AS A COLORED SOLAR CELL OR AS A COLORED SOLAR MODULE OR AS A COMPONENT THEREOF, AND AN ARRAY COMPRISING AT LEAST TWO OF SAID SUBSTRATES
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN SUBSTRAT DOTÉ D'UNE COUCHE FILTRE D'INTERFÉRENCES EN COULEUR, SUBSTRAT CONTENANT UNE COUCHE FILTRE D'INTERFÉRENCES EN COULEUR, UTILISATION DE CE SUBSTRAT COMME CELLULE SOLAIRE EN COULEUR, MODULE SOLAIRE EN COULEUR OU PARTIE INTÉGRANTE DE CES DERNIERS, ET RÉSEAU COMPORTANT AU MOINS DEUX DE CES SUBSTRATS
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Substrats mit einer farbigen Interferenzfilterschicht, enthaltend polykristallines Metalloxid oder polykristalline Metalloxide, durch, insbesondere physikalische oder chemische, Gasphasenabscheidung mit einer Beschichtungsanlage, insbesondere mit Hilfe eines Sputtergases, bei dem man aus der Gasphase mindestens zwei, insbesondere mindestens sechs, Beschichtungslagen jeweils aufeinander unter Ausbildung von polykristallinen Metalloxiden abscheidet mit einer durchschnittlichen Dicke der jeweiligen Beschichtungslagen im Bereich von etwa 50 nm bis 350 nm, insbesondere im Bereich von etwa 90 nm bis 210 nm, wobei die gemittelten prozentualen atomaren Anteile mindestens eines, insbesondere jedes einzelnen, der in jeweils mindestens zwei, insbesondere sämtlichen, Beschichtungslagen, enthaltenen Metalle um nicht mehr als +/-20 Atom-%, vorzugsweise um nicht mehr als +/-10 Atom-% und besonders bevorzugt um nicht mehr als +/-5 Atom-%, von der gemittelten prozentualen Zusammensetzung der jeweiligen Metalle in der Interferenzfilterschicht abweichen, wobei 100 Atom-% die Summe aller in der Schicht enthaltenen Metalle bezeichnet. Des weiteren betrifft die Erfindung ein nach diesem Verfahren erhältliches farbiges Substrat sowie ein Array, enthaltend eine Vielzahl an solchen Substraten.
(EN)The present invention relates to a method for producing a substrate having a colored interference filter layer, comprising polycrystalline metal oxide or polycrystalline metal oxides, by gas phase deposition, particularly physical or chemical, using a coating system, particularly by means of a sputter gas, wherein at least two, particularly at least six coating layers are deposited from the gas phase, each on top of the other, forming polycrystalline metal oxides having an average thickness of each coating layer in the range of about 50 nm to 250 nm, particularly in the range of about 90 nm to 210 nm, wherein the averaged percentual atomic components of at least one, particularly of each individual metal present in at least two, particularly in all coating layers deviates from the averaged percentual composition of each metal by no more than +/-20 % atoms, preferably by no more than +/-10% atoms, and particularly preferably by no more than +/-5% atoms, wherein 100% atoms is the sum of all metals present in the layer. The invention further relates to a colored substrate that can be obtained by means of said method, and an array comprising a plurality of such substrates.
(FR)La présente invention concerne un procédé de production d'un substrat doté d'une couche filtre d'interférences en couleur, contenant un oxyde métallique polycristallin ou des oxydes métalliques polycristallins et appliquée par dépôt, physique ou chimique, en phase vapeur avec une installation de revêtement, notamment à l'aide d'un gaz de pulvérisation. Selon ce procédé, à partir de la phase gazeuse on dépose respectivement par superposition au moins deux, notamment au moins six, couches de revêtement, ce qui s'accompagne de la formation d'oxydes métalliques polycristallins pour une épaisseur moyenne de la couche de revêtement respective de l'ordre de 50 nm à 350 nm, notamment de l'ordre de 90 nm à 210 nm. La moyenne des fractions atomiques calculée en pourcentage d'au moins un, notamment de chacun des métaux contenus dans au moins deux, notamment toutes les couches de revêtement s'écarte de maximum +/-20 % atomique, de préférence de maximum +/-10 % atomique et idéalement de maximum +/-5 % atomique, de la moyenne, de la composition, calculée en pourcentage des différents métaux de la couche filtre d'interférences, la totalité des métaux contenus dans ladite couche représentant 100 % atomique. En outre, l'invention concerne un substrat en couleur obtenu selon ce procédé et un réseau, contenant une pluralité de tels substrats.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)