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1. (WO2011032947) ABZIEHROLLE, VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABLÖSEN EINER FOLIE VON EINEM SCHEIBENFÖRMIGEN WERKSTÜCK
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2011/032947    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2010/063486
Veröffentlichungsdatum: 24.03.2011 Internationales Anmeldedatum: 14.09.2010
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    15.07.2011    
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
Anmelder: ERS ELECTRONIC GMBH [DE/DE]; Stettinerstraße 3+5 82110 Germering (DE) (For All Designated States Except US).
SCHINDLER, Rüdiger [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: SCHINDLER, Rüdiger; (DE)
Vertreter: BARTH, Stephan; Friedrichstrasse 31 80801 München (DE)
Prioritätsdaten:
10 2009 041 294.8 15.09.2009 DE
Titel (DE) ABZIEHROLLE, VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABLÖSEN EINER FOLIE VON EINEM SCHEIBENFÖRMIGEN WERKSTÜCK
(EN) PINCH ROLL, DEVICE, AND METHOD FOR REMOVING A FILM FROM A DISC-SHAPED WORKPIECE
(FR) ROULEAU DE DÉCOLLEMENT, DISPOSITIF ET PROCÉDÉ PERMETTANT LE DÉCOLLEMENT D'UN FILM D'UNE PIÈCE EN FORME DE DISQUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung schafft eine Abziehrolle (12) zum Ablösen einer Folie (2) von einem scheibenförmigen Werkstück (3), insbesondere einem Mold-Wafer (3), mit einem Folienmanipulierabschnitt (13) zum kraftschlüssigen Aufnehmen oder zum Abstoßen eines Abschnittes (14) der Folie (2). Die vorliegende Erfindung schafft ferner eine Vorrichtung (1) zum Ablösen einer Folie (2) von einem scheibenförmigen Werkstück (3), insbesondere einem Mold-Wafer (3), mit: einer Festspanneinrichtung (4) zum kraftschlüssigen Festspannen des scheibenförmigen Werkstücks (3); einer derartigen Abziehrolle (12); einer Verfahreinrichtung (17) zum Verfahren der Abziehrolle (12) horizontal und/oder vertikal zu einer Oberfläche (10) der Fest Spanneinrichtung (4); und einer Rotiereinrichtung (24) zum Rotieren der Abziehrolle (12) um eine Mittelachse (25) der Abziehrolle (12). Die vorliegende Erfindung schafft noch ferner ein Verfahren zum Ablösen einer Folie (2) von einem scheibenförmigen Werkstück (3), insbesondere einem MoId-Wafer (3), mittels einer derartigen Vorrichtung (1).
(EN)The present invention relates to a pinch roll (12) for removing a film (2) from a disc-shaped workpiece (3), in particular a mold wafer (3), comprising a film manipulation section (13) for receiving or pushing off a section (14) of the film (2) in a force-locked manner. The present invention further relates to a device (1) for removing a film (2) from a disc-shaped workpiece (3), in particular a mold wafer (3), comprising: a clamping unit (4) for clamping the disc-shaped workpiece (3) in a force-locked manner; such a pinch roll (12); a displacement unit (17) for displacing the pinch roll (12) horizontally or vertically to a surface (10) of the clamping unit (4); and a rotating unit (24) for rotating the pinch roll (12) about a center axis (25) of the pinch roll (12). The present invention further relates to a method for removing a film (2) from a disc-shaped workpiece (3), in particular a mold wafer (3), by means of such a device (1).
(FR)L'invention concerne un rouleau de décollement (12) destiné à décoller un film (2) d'une pièce en forme de disque (3), en particulier, d'une tranche semi-conductrice moulée (3), comprenant une section de manipulation de film (13) pour la réception, par transmission de force ou pour l'éjection d'une section (14) du film (3). L'invention concerne en outre un dispositif (1) pour le décollement d'un film (2) d'une pièce en forme de disque (3), en particulier d'une tranche semi-conductrice moulée (3), comprenant : un dispositif de serrage (4) pour le serrage, par transmission de force, de la pièce en forme de disque (3); un rouleau de décollement (12) du type précité; un dispositif de déplacement (17) pour le déplacement du rouleau de décollement (12), horizontalement et/ou verticalement, par rapport à une surface (10) du dispositif de serrage (4); et un dispositif de rotation (24), pour la rotation du rouleau de décollement (12) autour d'un axe médian (25) du rouleau de décollement (12). L'invention concerne en outre un procédé de décollement d'un film (2), d'une pièce en forme de disque (3), en particulier d'une tranche semi-conductrice moulée (3) au moyen du dispositif précité (1).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)