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1. (WO2011032802) BEOBACHTUNGS- UND ANALYSEGERÄT
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2011/032802    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2010/062169
Veröffentlichungsdatum: 24.03.2011 Internationales Anmeldedatum: 20.08.2010
IPC:
G02B 21/36 (2006.01), G01N 23/225 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena (DE) (For All Designated States Except US).
EDELMANN, Martin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
THOMAS, Christian [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: EDELMANN, Martin; (DE).
THOMAS, Christian; (DE)
Vertreter: GEYER, FEHNERS & PARTNER (G.B.R.); Sellierstraße 1 07745 Jena (DE)
Prioritätsdaten:
10 2009 041 993.4 18.09.2009 DE
Titel (DE) BEOBACHTUNGS- UND ANALYSEGERÄT
(EN) OBSERVATION AND ANALYSIS UNIT
(FR) APPAREIL D'OBSERVATION ET D'ANALYSE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf ein Beobachtungs- und Analysegerät, das ausgestattet ist mit Mitteln zur vergrößerten Darstellung einer Probe (1) und mit Mitteln zu deren Auswertung und Analyse. Erfindungsgemäß umfaßt ein solches Beobachtungs- und Analysegerät - eine lichtmikroskopische Einrichtung, ausgebildet zur vergrößerten Darstellung und optischen Auswertung einer Probe (1), - Mittel zur Analyse ausgewählter Bereiche der Probe (1), ausgestattet mit - einer Elektronenquelle (3), von der ein Elektronenstrahl (4) auf einen mittels der lichtmikroskopischen Einrichtung ausgewählten Bereich der Probe (1) richtbar ist, und mit - einem Röntgendetektor (6), ausgebildet zur Detektion der durch die Wechselwirkung des Elektronenstrahls (4) mit dem Probenmaterial entstehenden Röntgenstrahlung (5), - eine Ansteuer- und Auswerteeinheit (8), welche Stellbefehle für die lichtmikroskopische Einrichtung und die Elektronenquelle (3) generiert und die Röntgenstrahlung (5) spektral analysiert.
(EN)The invention relates to an observation and analysis unit comprising means for the magnified depiction of a sample (1) and means for the evaluation and analysis thereof. According to the invention, such an observation and analysis unit comprises - a light microscopic device designed for the magnified depiction and optical evaluation of a sample (1), - means for the analysis of selected regions of the sample (1), comprising - an electron source (3) from which an electron beam (4) can be directed to a region of the sample (1) selected by means of the light microscopic device and comprising - an x-ray detector (6) designed to detect the x-ray radiation (5) occurring due to the interaction of the electron beam (4) with the sample material, - an actuation and evaluation unit (8) which generates position commands for the light microscopic device and the electron source (3) and spectrally analyzes the x-ray radiation (5).
(FR)L'invention concerne un appareil d'observation et d'analyse qui est équipé de moyens pour la représentation agrandie d'un échantillon (1) et de moyens pour son évaluation et son analyse. Selon l'invention, un tel appareil d'observation et d'analyse comporte - un dispositif de microscopie optique conçu pour la représentation agrandie et l'évaluation optique d'un échantillon (1), - des moyens pour l'analyse de zones sélectionnées de l'échantillon (1), équipés - d'une source électronique (3) à partir de laquelle un faisceau électronique (4) peut être dirigé sur une zone de l'échantillon (1) sélectionnée au moyen du dispositif de microscopie optique et - d'un détecteur de rayons X (6) conçu pour la détection du faisceau de rayons X (5) engendré par l'interaction du faisceau électronique (4) avec le matériau de l'échantillon, - un dispositif de commande et d'évaluation (8) qui génère des instructions de réglage pour le dispositif de microscopie optique et la source électronique (3) et analyse spectralement le faisceau de rayons X (5).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)