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1. (WO2011022745) OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2011/022745    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/AT2010/000306
Veröffentlichungsdatum: 03.03.2011 Internationales Anmeldedatum: 26.08.2010
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    24.06.2011    
IPC:
G01N 21/21 (2006.01)
Anmelder: TECHNISCHE UNIVERSITÄT GRAZ [AT/AT]; Rechbauerstraße 12 A-8010 Graz (AT) (For All Designated States Except US).
FORSCHUNGSHOLDING TU GRAZ GMBH [AT/AT]; Rechbauerstraße 12 A-8010 Graz (AT) (For All Designated States Except US).
GILLI, Eduard [AT/AT]; (AT) (For US Only).
SCHENNACH, Robert [AT/AT]; (AT) (For US Only).
KORNSCHOBER, Martin [AT/AT]; (AT) (For US Only)
Erfinder: GILLI, Eduard; (AT).
SCHENNACH, Robert; (AT).
KORNSCHOBER, Martin; (AT)
Vertreter: PATENTANWALTSKANZLEI MATSCHNIG & FORSTHUBER; Siebensterngasse 54 A-1071 Wien (AT)
Prioritätsdaten:
A 1340/2009 26.08.2009 AT
Titel (DE) OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE
(EN) OPTICAL ARRANGEMENT FOR ELLIPSOMETRY
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE POUR ELLIPSOMÉTRIE
Zusammenfassung: front page image
(DE)In einer optischen Anordnung (1) zum Messen spektroskopischer Eigenschaften einer an einer Probenposition (2) befindlichen Probe wird ein Lichtbündel über einen ersten Drehspiegel (7) und einen ersten bogenförmigen Hauptspiegel (8) auf die Probenposition in einem einstellbaren Einfallswinkel (φ) gelenkt, und das von der Probenposition reflektierte Licht wird über einen zweiten bogenförmigen Hauptspiegel (18) und einen zweiten Drehspiegel (17) einer Messung zugeführt. Erster und zweiter Hauptspiegel (8, 18) haben eine Spiegelfläche, die zumindest einem streifenförmigen Ausschnitt einer Rotationsfläche um die Hauptachse (4) entspricht und die von dem ersten Drehspiegel (7) in dessen verschiedenen einstellbaren Drehpositionen ausgehendes Licht auf die Probenposition wirft, wobei die Drehspiegel (7, 17) einander gegenüber auf der Hauptachse (4) angeordnet sind und beide gegenüber ihren Drehachsen um einen Winkel geneigt sind.
(EN)In an optical arrangement (1) for measuring spectroscopic properties of a sample located at a sample position (2), a light bundle is directed at the sample position at an adjustable angle of incidence (φ) by means of a first rotating mirror (7) and a first arc-shaped main mirror (8), and the light reflected from the sample position is fed to a measurement by means of a second arc-shaped main mirror (18) and a second rotating mirror (17). The first and second main mirrors (8, 18) have a mirror surface that corresponds to at least one strip-shaped section of a surface of revolution about the main axis (4) and that casts light coming from the first rotating mirror (7) in the different adjustable rotational positions thereof onto the sample position, wherein the rotating mirrors (7, 17) are arranged opposite each other on the main axis (4) and are both tilted from their rotational axes by an angle.
(FR)L'invention concerne un dispositif optique (1) destiné à mesurer les caractéristiques spectroscopiques d'une sonde se trouvant dans une position d'échantillonnage (2). Ledit dispositif présente un faisceau lumineux qui est guidé, par l'intermédiaire d'un premier miroir rotatif (7) et d'un premier miroir principal arqué (8), sur la position d'échantillonnage selon un angle d'incidence (φ) réglable. La lumière réfléchie de la position d'échantillonnage est acheminée par l'intermédiaire d'un second miroir principal arqué (18) et d'un second miroir rotatif (17) pour être mesurée. Les premier et second miroirs principaux (8, 18) présentent une surface réfléchissante correspondant à au moins une découpe en forme de bande d'une surface de rotation autour de l'axe principal (4) et qui projette sur la position d'échantillonnage la lumière sortant du premier miroir rotatif (7) dans ses différentes positions de rotation réglables. Les miroirs (7, 17) sont agencés face à face sur l'axe principal (4) et sont tous deux inclinés selon un certain angle par rapport à leurs axes de rotation.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)