WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Suche
 
Durchsuchen
 
Übersetzen
 
Optionen
 
Aktuelles
 
Einloggen
 
Hilfe
 
Maschinelle Übersetzungsfunktion
1. (WO2011009222) DRUCKMESSZELLENANORDNUNG MIT EINER OPTISCHEN MEMBRANDRUCKMESSZELLE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2011/009222    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/CH2010/000172
Veröffentlichungsdatum: 27.01.2011 Internationales Anmeldedatum: 06.07.2010
IPC:
G01L 9/00 (2006.01)
Anmelder: INFICON GMBH [CH/CH]; Hintergasse 15b CH-7310 Bad Ragaz (CH) (For All Designated States Except US).
BERG, Christian [NO/CH]; (CH) (For US Only)
Erfinder: BERG, Christian; (CH)
Vertreter: WEGMANN, Urs; Saschela 3 CH-9479 Oberschan (CH)
Prioritätsdaten:
1172/09 24.07.2009 CH
Titel (DE) DRUCKMESSZELLENANORDNUNG MIT EINER OPTISCHEN MEMBRANDRUCKMESSZELLE
(EN) PRESSURE MEASURING CELL ARRANGEMENT COMPRISING AN OPTICAL DIAPHRAGM PRESSURE MEASURING CELL
(FR) SYSTÈME DE CELLULE DE MESURE DE PRESSION COMPRENANT UNE CELLULE OPTIQUE DE MESURE DE PRESSION À MEMBRANE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Eine Druckmesszellenanordnung umfasst einen optischen Membrandruckwandler 23, der einen Gehäusekörper 1 mit einer davon in geringem Abstand angeordneten Membrane 5, welche einem Prozessraum 12 mit dem zu messenden gasförmigen Medium ausgesetzt ist, wobei der Gehäusekörper 1 ein optisch transparentes Fenster 3 aufweist, und dass beabstandet von diesem Fenster 3 über einen optischen Pfad 9, eine Signalaufnahmeeinheit 32 mit einer Lichtleitfaser 22 zur Ein- und Auskopplung von Licht auf die Oberfläche der Membrane 5 vorgesehen ist, derart dass dadurch eine Messstrecke ausgebildet ist zur Erfassung von Auslenkungen der Membrane 5 mit einer Signalauswerteeinheit 24, wodurch eine Fabry - Perot Interferometeranordnung ausgebildet wird. Hierbei ist der Prozessraum 12 von einer Kammerwand 30 gegen die Atmosphäre 10 hin abschliessend umgeben, und der Prozessraum 12 ist mit einem Trennmittel 25 begrenzt, derart dass zwischen dem Trennmittel 25, 31 und der davon beabstandeten Kammerwand 30 ein Klimaraum 11 ausgebildet ist. Die Signalaufnahmeeinheit 32 ist an der Kammerwand 30 optisch hindurchführend angeordnet und das Trennmittel 25 weist mindestens im Bereich des optischen Pfades 9 optisch transparente Mittel 25a auf, derart dass zwischen dem Membrandruckwandler 23 und der Signalaufnahmeeinheit 32 eine optische Verbindung besteht zur Übermittlung des optischen Drucksignals.
(EN)A pressure measuring cell arrangement comprises an optical diaphragm pressure transducer (23) which contains a housing body (1) with a diaphragm (5) arranged at a short distance therefrom, said arrangement being exposed to a process chamber (12) with the gaseous medium to be measured, wherein the housing body (1) has an optically transparent window (3). A signal receiving unit (32) comprising an optical fiber (22) for coupling and decoupling light onto the surface of the diaphragm (5) is provided at a distance from said window (3) across an optical path (9), said signal receiving unit being provided such that a measurement path is formed for detecting deflections of the diaphragm (5) by means of a signal analyzing unit (24), whereby a Fabry-Perot interferometer is formed. The process chamber (12) is sealed off from the atmosphere (10) by a chamber wall (30), and the process chamber (12) is delimited by a dividing means (25) such that a climate chamber (11) is formed between the dividing means (25, 31) and the chamber wall (30) provided at a distance therefrom. The signal receiving unit (32) is arranged so that it forms an optical passage through the chamber wall (30), and the dividing means (25) has optically transparent means (25a) at least in the region of the optical path (9) such that there is an optical connection for transmitting the optical pressure signal, said optical connection lying between the optical diaphragm pressure transducer (23) and the signal receiving unit (32).
(FR)L'invention concerne un système de cellule de mesure de pression comprenant un capteur optique de pression à membrane (23) qui présente un corps de boîtier (1) avec une membrane (5) qui est disposée à faible distance de celui-ci et qui est exposée à un espace de traitement (12) comprenant le fluide gazeux à mesurer, le corps de boîtier (1) présentant une fenêtre (3) optiquement transparente. Il est prévu à distance de cette fenêtre (3) sur un trajet optique (9), une unité de réception de signaux (32) comportant une fibre optique (22) pour injecter la lumière sur la surface de la membrane (5) et l'en extraire, de sorte qu'un tronçon de mesure est formé pour détecter des déviations de la membrane (5) au moyen d'une unité d'évaluation de signaux (24), formant ainsi un système d'interféromètre de Fabry-Perot. De ce fait, l'espace de traitement (12) est entouré de manière isolante par rapport à l'atmosphère (10) par une paroi de chambre (30) et l'espace de traitement (12) est limité par un moyen de séparation (25) de sorte qu'une chambre climatique (11) est formée entre le moyen de séparation (25, 31) et la paroi de chambre (30) espacée de celui-ci. L'unité de réception de signaux (32) est disposée de manière optiquement traversante sur la paroi de chambre (30) et le moyen de séparation (25) présente, au moins dans la région du trajet optique (9), des moyens optiquement transparents (25a) de sorte qu'il y a entre le capteur de pression à membrane (23) et l'unité de réception de signaux (32) une liaison optique pour transmettre le signal de pression optique.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)