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1. WO2010017884 - VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM OPTISCHEN INSPIZIEREN EINER OBERFLÄCHE AN EINEM GEGENSTAND

Veröffentlichungsnummer WO/2010/017884
Veröffentlichungsdatum 18.02.2010
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2009/005341
Internationales Anmeldedatum 23.07.2009
IPC
G01B 11/25 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
24zum Messen von Umrisslinien oder Krümmungen
25durch Projizieren eines Musters, z.B. Moiré-Streifen, auf den Gegenstand
G01N 21/88 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
84Systeme, besonders ausgebildet für spezielle Anwendungen
88Untersuchen der Anwesenheit von Fehlern oder Verunreinigungen
CPC
G01B 11/25
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
G01N 21/8806
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
8806Specially adapted optical and illumination features
Anmelder
  • CARL ZEISS OIM GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • KNUPFER, Klaus [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • KNUPFER, Klaus
Vertreter
  • DUHME, Torsten
Prioritätsdaten
10 2008 038 256.611.08.2008DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM OPTISCHEN INSPIZIEREN EINER OBERFLÄCHE AN EINEM GEGENSTAND
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR OPTICALLY INSPECTING A SURFACE ON AN OBJECT
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'INSPECTION OPTIQUE DE LA SURFACE D'UN OBJET
Zusammenfassung
(DE)
Eine Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (16) an einem Gegenstand (14) besitzt eine Aufnahme (12) zum Platzieren des Gegenstandes (14). Sie besitzt ferner eine Anzeigeeinheit (18), die dazu ausgebildet ist, ein Hell-Dunkel- Muster (20) mit einem sich zumindest weitgehend kontinuierlich ändernden Helligkeitsverlauf (22) zu erzeugen. Die Anzeigeeinheit (18) ist relativ zu der Aufnahme (12) so angeordnet, dass das Hell-Dunkel-Muster (20) auf die Oberfläche (16) fällt. Eine Kamera (26) dient zum Aufnehmen einer Anzahl von Bildern der Oberfläche (16) mit dem Hell-Dunkel-Muster (20). Mit einer Auswerteeinheit (30) werden Eigenschaften der Oberfläche (16) in Abhängigkeit von den Bildern bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung ist zwischen der Anzeigeeinheit (18) und der Oberfläche (16) eine milchglasartige Streuscheibe (36) angeordnet.
(EN)
An apparatus for optically inspecting a surface (16) on an object (14) has a holding means (12) for placing the object (14). It furthermore has an indication unit (18) which is configured to produce a light/dark pattern (20) with an at least largely continuously changing brightness profile (22). The indication unit (18) is arranged relative to the holding means (12) such that the light/dark pattern (20) falls onto the surface (16). A camera (26) serves for recording a number of images of the surface (16) with the light/dark pattern (20). An evaluation unit (30) is used to determine properties of the surface (16) as a function of the images. According to one aspect of the invention, a milk glass-type diffusing plate (36) is arranged between the indication unit (18) and the surface (16).
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'inspection optique de la surface (16) d'un objet (14), avec un support (12) pour le placement de l'objet (14), avec en outre une unité d'affichage (18) configurée pour produire un motif de clair-obscur (20) avec une courbe de luminosité (22) variant de manière au moins largement continue. L'unité d'affichage (18) est placée par rapport au support (12) de manière que le motif de clair-obscur (20) tombe sur la surface (16). Une caméra (26) est utilisée pour prendre un certain nombre d'images de la surface (16) avec le motif de clair-obscur (20). Une unité d'analyse (30) détermine des propriétés de la surface (16) en fonction des images. Selon un aspect de l'invention, un disque diffuseur (36) de type verre dépoli est placé entre l'unité d'affichage (18) et la surface (16).
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