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1. (WO2010015694) INSPEKTIONSVORRICHTUNG- UND VERFAHREN FÜR DIE OPTISCHE UNTERSUCHUNG VON OBJEKTOBERFLÄCHEN, INSBESONDERE VON WAFERKANTEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2010/015694    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2009/060253
Veröffentlichungsdatum: 11.02.2010 Internationales Anmeldedatum: 06.08.2009
IPC:
G01N 21/95 (2006.01)
Anmelder: NANOPHOTONICS AG [DE/DE]; Galileo-Galilei-Str. 28 55129 Mainz (DE) (For All Designated States Except US).
DREWS, Dietrich [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BODDEN, Andreas [--/DE]; (DE) (For US Only).
SCHRAUTH, Ralph [--/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: DREWS, Dietrich; (DE).
BODDEN, Andreas; (DE).
SCHRAUTH, Ralph; (DE)
Vertreter: ACHLER, Matthias; Fuchs Söhnleinstraße 8 65201 Wiesbaden (DE)
Prioritätsdaten:
10 2008 041 134.5 08.08.2008 DE
Titel (DE) INSPEKTIONSVORRICHTUNG- UND VERFAHREN FÜR DIE OPTISCHE UNTERSUCHUNG VON OBJEKTOBERFLÄCHEN, INSBESONDERE VON WAFERKANTEN
(EN) INSPECTION DEVICE AND METHOD FOR OPTICAL INVESTIGATION OF OBJECT SURFACES, IN PARTICULAR WAFER EDGES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE CONTRÔLE POUR L'EXAMEN OPTIQUE DE SURFACES D'OBJETS, NOTAMMENT DE BORDS DE TRANCHES DE SILICIUM
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Inspektionsvorrichtung und ein Inspektionsverfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen in einer Kantenumgebung eines ansonsten im Wesentlichen ebenen Objekts (10), insbesondere von Waferkanten. Die Inspektionsvorrichtung weist wenigstens eine der Objektoberfläche unter einem schrägen Winkel zur Objektebene zugewandte und auf die Objektkante (18) fokussierbare Digitalkamera (14) und eine Ebenenbeleuchtungseinrichtung (30), die relativ zur Digitalkamera (14) und zur Objektoberfläche so angeordnet ist, dass ein Bild einer sich an die Objektkante anschließenden ebenen Hauptfläche (22) der Objektoberfläche in der Kantenumgebung unter Hellfeldbeleuchtung erzeugt werden kann, auf, wobei die Ebenenbeleuchtungseinrichtung (30) eine Kolümationseinrichtung umfasst.
(EN)The invention relates to an inspection device and an inspection method for optically investigating object surfaces surrounding an edge of an otherwise substantially flat object (10), in particular wafer edges. The inspection device comprises at least one digital camera (14) facing the object surface at an acute angle with respect to the object plane, said camera being able to be focused onto the object edge (18), and a plane illumination device (30) which is positioned relative to the digital camera (14) and to the object surface in such a way that an image of a flat main surface (22) of the object surface surrounding the edge proximate to the edge of the object can be produced under bright field illumination, wherein the plane illumination device (30) comprises a collimation device.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif de contrôle pour l'examen optique de surfaces d'objets, dans une zone du bord d'un objet (10) sensiblement plat, notamment de bords de tranches de silicium. Le dispositif de contrôle comporte au moins une caméra numérique (14) qui est orientée vers la surface de l'objet, forme un angle oblique avec le plan de l'objet et peut être focalisée sur le bord de l'objet (18), et un dispositif d'éclairage de plan (30) qui, relativement à la caméra numérique (14) et à la surface de l'objet, est disposé de manière à produire une image d'une surface principale (22) plane dans le prolongement du bord de l'objet, dans la zone du bord, sous éclairage à fond clair, le dispositif d'éclairage de plan (30) comportant un dispositif de collimation.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)