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1. (WO2010015663) VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG EINER GESAMT-LECKRATE EINER VAKUUMANLAGE SOWIE VAKUUMANLAGE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2010/015663    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2009/060169
Veröffentlichungsdatum: 11.02.2010 Internationales Anmeldedatum: 05.08.2009
IPC:
G01M 3/20 (2006.01), G01M 3/22 (2006.01)
Anmelder: OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH [DE/DE]; Bonner Strasse 498 50968 Köln (DE) (For All Designated States Except US).
PALTEN, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WALTER, Gerhard Wilhelm [DE/DE]; (DE) (For US Only).
EHRENSPERGER, Damian [CH/CH]; (CH) (For US Only)
Erfinder: PALTEN, Thomas; (DE).
WALTER, Gerhard Wilhelm; (DE).
EHRENSPERGER, Damian; (CH)
Vertreter: VON KIRSCHBAUM, Alexander; Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln (DE)
Prioritätsdaten:
10 2008 037 058.4 08.08.2008 DE
Titel (DE) VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG EINER GESAMT-LECKRATE EINER VAKUUMANLAGE SOWIE VAKUUMANLAGE
(EN) METHOD FOR DETERMINING AN OVERALL LEAKAGE RATE OF A VACUUM SYSTEM AND VACUUM SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ POUR DÉTERMINER UN TAUX DE FUITE GLOBAL D'UNE INSTALLATION DE VIDE ET INSTALLATION DE VIDE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Ein Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage kann kontinuierlich oder zyklisch durchgeführt werden. Die Vakuumanlage weist zumindest eine Prozesskammer (10) und eine mit der Prozesskammer (10) verbundene Pumpeinrichtung (16) auf. Bei einem erfindungsgemäßen zyklischen Bestimmungsverfahren erfolgen die folgenden Schritte: Unterbinden einer Prozessgas-Zufuhr zu der Prozesskammer (10), Zufuhr eines Trägergases in die Prozesskammer (10), Fördern des Trägergases und eines Leckagegases mittels der Pumpeinrichtung (16), Messen eines Gehalts einer Gaskomponente des gepumpten Gases, und Bestimmen der Gesamt-Leckrate der Vakuumanlage auf Basis des gemessenen Gehalts der Gaskomponente.
(EN)A method for determining an overall leakage rate of a vacuum system can be operated continuously or cyclically. The vacuum system comprises at least one process chamber (10) and a pumping device (16) connected to the process chamber (10). In a cyclical determination method according to the invention, the following steps are taken: suppressing a process gas feed to the process chamber (10), feeding a carrier gas to the process chamber (10), conveying the carrier gas and a leakage gas using the pumping device (16), measuring an amount of a gas component in the pumped gas, and determining the overall leakage rate of the vacuum system based on the measured amount of the gas component.
(FR)Un procédé pour déterminer un taux de fuite global d'une installation de vide peut être mis en œuvre de façon continue ou cyclique. L'installation de vide comporte au moins une chambre de travail (10) et un dispositif de pompage (16) relié à la chambre de travail (10). Un procédé de détermination cyclique conforme à l'invention comporte les étapes suivantes : suppression d'une arrivée de gaz de travail à la chambre de travail (10), arrivée d'un gaz porteur dans la chambre de travail (10), transport du gaz porteur et d'un gaz de fuite au moyen du dispositif de pompage (16), mesure d'une teneur d'un composant gazeux du gaz pompé, et détermination du taux de fuite global de l'installation de vide sur la base de la teneur mesurée du composant gazeux.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)