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1. WO2010015296 - TRANSMITTIERENDES OPTISCHES ELEMENT AUS MAGNESIUM-ALUMINIUM-SPINELL

Veröffentlichungsnummer WO/2010/015296
Veröffentlichungsdatum 11.02.2010
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2009/004534
Internationales Anmeldedatum 24.06.2009
IPC
C04B 35/443 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
04Zemente; Beton; Kunststein; keramische Massen; feuerfeste Massen
BKalk; Magnesia; Schlacke; Zemente; Massen hieraus z.B. Mörtel, Beton oder ähnliche Baumaterialien; künstliche Steine; keramische Massen; feuerfeste Massen; Behandlung von Naturstein
35Geformte keramische Erzeugnisse, die durch ihre Zusammensetzung gekennzeichnet sind; keramische Werkstoffe; Pulver aus anorganischen Verbindungen als Ausgangsstoffe für die Herstellung keramischer Produkte
01auf Oxidbasis
44auf Aluminatbasis
443Magnesiumaluminiumspinell
G02B 1/02 2006.01
GPhysik
02Optik
BOptische Elemente, Systeme oder Geräte
1Optische Elemente, gekennzeichnet durch das Material, aus dem sie hergestellt sind; optische Beschichtungen für optische Elemente
02aus Kristallen, z.B. Steinsalz, Halbleiter
G02B 13/14 2006.01
GPhysik
02Optik
BOptische Elemente, Systeme oder Geräte
13Objektive, besonders für die nachstehend angegebenen Zwecke ausgebildet
14zur Verwendung mit infraroter oder ultravioletter Strahlung
G03F 7/20 2006.01
GPhysik
03Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
FFotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken ; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20Belichten; Vorrichtungen dafür
C30B 29/26 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
30Züchten von Kristallen
BZüchten von Einkristallen; Gerichtetes Erstarren von eutektischen Stoffen oder gerichtetes Entmischen von eutektischen Stoffen; Reinigen von Stoffen durch Zonenschmelzen; Herstellung eines homogenen polykristallinen Stoffes mit definierter Struktur; Einkristalle oder homogene polykristalline Stoffe mit definierter Struktur; Nachbehandlung von Einkristallen oder eines homogenen polykristallinen Stoffes mit definierter Struktur; Apparate hierfür
29Einkristalle oder homogene polykristalline Stoffe mit definierter Struktur, gekennzeichnet durch das Material oder durch ihre Form
10Anorganische Verbindungen oder Zusammensetzungen
16Oxide
22Zusammengesetzte Oxide
26der Formel BMe2O4 , wobei B ist Mg, Ni, Co, Al, Zn oder Cd, und Me ist Fe, Ga, Sc, Cr, Co oder Al
CPC
C04B 2235/725
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
72Products characterised by the absence or the low content of specific components, e.g. alkali metal free alumina ceramics
725Metal content
C04B 2235/79
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
74Physical characteristics
79Non-stoichiometric products, e.g. perovskites (ABO3) with an A/B-ratio other than 1
C04B 2235/9653
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
96Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
9646Optical properties
9653Translucent or transparent ceramics other than alumina
C04B 35/443
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
35Shaped ceramic products characterised by their composition
01based on oxide ceramics
44based on aluminates
443Magnesium aluminate spinel
C04B 35/6455
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
35Shaped ceramic products characterised by their composition
622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
64Burning or sintering processes
645Pressure sintering
6455Hot isostatic pressing
C30B 1/12
CCHEMISTRY; METALLURGY
30CRYSTAL GROWTH
BSINGLE-CRYSTAL-GROWTH
1Single-crystal growth directly from the solid state
12by pressure treatment during the growth
Anmelder
  • CARL ZEISS SMT AG [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • CLAUSS, Wilfried [DE]/[DE] (UsOnly)
  • KOEHNE, Yvonne [DE]/[DE] (UsOnly)
  • THIELE, Christian [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • CLAUSS, Wilfried
  • KOEHNE, Yvonne
  • THIELE, Christian
Vertreter
  • CARL ZEISS AG
Prioritätsdaten
10 2008 041 055.106.08.2008DE
61/086,63706.08.2008US
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) TRANSMITTIERENDES OPTISCHES ELEMENT AUS MAGNESIUM-ALUMINIUM-SPINELL
(EN) TRANSMITTING OPTICAL ELEMENT CONSISTING OF MAGNESIUM-ALUMINIUM SPINEL
(FR) ÉLÉMENT OPTIQUE TRANSMETTEUR EN SPINELLE MAGNÉSIUM-ALUMINIUM
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein optisches Element (133) zur Transmission von Strahlung bei Wellenlängen von weniger als 250 nm, insbesondere bei 193 nm, aus einem Magnesium-Aluminium-Spinell enthaltenden Material, wobei im Volumen des optischen Elements (133) das Verhältnis (V) des Aluminium-Anteils im Magnesium-Aluminium-Spinell zum Magnesium-Anteil im Magnesium-Aluminium-Spinell um weniger als 200 ppm, bevorzugt um weniger als 100 ppm, besonders bevorzugt um weniger als 50 ppm variiert und/oder im Bereich zwischen 2,0 und 2,2, bevorzugt im Bereich zwischen 2,02 und 2,10, besonders bevorzugt im Bereich zwischen 2,04 und 2,08 liegt. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Projektionsobjektiv und eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem solchen optischen Element, sowie ein Herstellungsverfahren für einen Rohling (1) zur Herstellung des optischen Elements (133).
(EN)
The invention relates to an optical element (133) for transmitting radiation in wavelengths of less than 250 nm, especially of 193 nm, consisting of a material containing magnesium-aluminium spinel. In the optical element (133), the ratio (V) of the aluminium part in the magnesium-aluminium spinel to the magnesium part in the magnesium-aluminium spinel varies by less than 200 ppm, preferably less than 100 ppm, especially preferably less than 50 ppm, and/or is between 2.0 and 2.2, preferably between 2.02 and 2.10, especially preferably between 2.04 and 2.08. The invention also relates to a projection objective and a projection illumination system comprising such an optical element, and to a production method for a blank (1) for producing the optical element (133).
(FR)
La présente invention concerne un élément optique (133) destiné à transmettre un rayonnement de longueurs d'onde inférieure à 250 nm, en particulier de 193 nm, fait d'un matériau contenant de la spinelle magnésium-aluminium. Selon l'invention, rapporté au volume de l'élément optique (133), le rapport (V) de la teneur en aluminium de la spinelle magnésium-aluminium sur la teneur en magnétisme de la spinelle magnésium-aluminium, varie d'une valeur inférieure à 200 ppm, de préférence d'une valeur inférieure à 100 ppm, de préférence encore d'une valeur inférieure à 50 PPCM, et/ou prend une valeur allant de 2,0 à 2,2, de préférence de 2,02 à 2,10, de préférence encore de 2,04 à 2,08. L'invention a également pour objet un objectif de projection et une installation d'éclairage par projection comprenant un tel élément optique, ainsi qu'un procédé de réalisation d'une ébauche (1) utilisée pour la réalisation de l'élément optique (133).
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten