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1. (WO2009156415) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON METALLOXIDSCHICHTEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2009/156415 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/EP2009/057855
Veröffentlichungsdatum: 30.12.2009 Internationales Anmeldedatum: 23.06.2009
IPC:
C23C 18/12 (2006.01)
C Chemie; Hüttenwesen
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Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
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Chemisches Beschichten durch Zersetzen entweder flüssiger Verbindungen oder der Lösungen der den Überzug bildenden Verbindungen ohne Verbleiben von Reaktionsprodukten des Oberflächenmaterials im Überzug; Kontaktbeschichten
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durch thermische Zersetzung
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gekennzeichnet durch das Abscheiden anderer anorganischer Stoffe als metallischer Stoffe
Anmelder:
CARL VON OSSIETZKY UNIVERSITÄT OLDENBURG [DE/DE]; Ammerländer Heerstraße 114-118 26111 Oldenburg, DE (AllExceptUS)
SCHNARS, Hanno [DE/DE]; DE (UsOnly)
AL-SHAMERY, Katharina [DE/DE]; DE (UsOnly)
WICKLEDER, Mathias [DE/DE]; DE (UsOnly)
AHLERS, Mareike [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
SCHNARS, Hanno; DE
AL-SHAMERY, Katharina; DE
WICKLEDER, Mathias; DE
AHLERS, Mareike; DE
Vertreter:
TARUTTIS, Stefan; DE
Prioritätsdaten:
10 2008 029 385.723.06.2008DE
Titel (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON METALLOXIDSCHICHTEN
(EN) METHOD FOR PRODUCING METAL OXIDE LAYERS
(FR) PROCÉDÉ DE RÉALISATION DE COUCHES D'OXYDES MÉTALLIQUES
Zusammenfassung:
(DE) Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für Metalloxidschichten aus Oxiden der Seltenerdmetalle auf Silicium-haltigen Oberflächen, die zur Durchführung des Beschichtungsverfahrens verwendbare Vorrichtung, sowie die Verwendung der in dem erfindungsgemäßen Verfahren eingesetzten Ausgangsstoffe für das Beschichtungsverfahren.
(EN) The invention relates to a method for producing metal oxide layers from oxides of rare earth metals on silicon-containing surfaces, to the device used to carry out the coating method, and to the use of the starting materials used in the method according to the invention for the coating method.
(FR) La présente invention concerne un procédé de réalisation de couches d'oxydes métalliques à partir d'oxydes de métaux de terres rares sur des surfaces contenant du silicium, le dispositif qui peut être utilisé pour mettre en oeuvre le procédé de revêtement, et l'utilisation des matières de départ impliquées dans le procédé de l'invention, pour mettre en oeuvre le procédé de revêtement.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Also published as:
US20110175207