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1. (WO2009156201) MIKRO-ELEKTROMECHANISCHES SENSORELEMENT
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2009/156201 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2009/054796
Veröffentlichungsdatum: 30.12.2009 Internationales Anmeldedatum: 22.04.2009
IPC:
B81C 1/00 (2006.01)
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
C
Verfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
1
Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Systemen in oder auf einem Substrat
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE (AllExceptUS)
Behnel, Nils Rasmus [DE/DE]; DE (UsOnly)
Krauss, Andreas [DE/DE]; DE (UsOnly)
Laermer, Franz [DE/DE]; DE (UsOnly)
Flik, Gottfried [DE/DE]; DE (UsOnly)
Fuchs, Tino [DE/DE]; DE (UsOnly)
Wolff, Janpeter [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
Behnel, Nils Rasmus; DE
Krauss, Andreas; DE
Laermer, Franz; DE
Flik, Gottfried; DE
Fuchs, Tino; DE
Wolff, Janpeter; DE
Allgemeiner
Vertreter:
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Prioritätsdaten:
102008002579.823.06.2008DE
Titel (DE) MIKRO-ELEKTROMECHANISCHES SENSORELEMENT
(EN) MICROELECTROMECHANICAL SENSOR ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT CAPTEUR MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE
Zusammenfassung:
(DE) Es wird ein konstruktiv einfaches und kostengünstig herstellbares mikro-elektromechanisches Sensorelement vorgeschlagen, das besonders gut für den Einsatz in einer partikelhaltigen Umgebung geeignet ist. Dieses mikro-elektromechanische Sensorelement (10) umfasst eine Membran (11) als Träger mindestens einer Sensorfunktion. Erfindungsgemäß sind Heizmittel (16, 17) vorgesehen, mit denen die Membran (11) auf eine Temperatur oberhalb der Umgebungstemperatur aufgeheizt wird und auf diesem Temperaturniveau gehalten wird. Dadurch wird Anlagerung von Partikeln und die Abscheidung von Substanzen auf der Membran verhindert.
(EN) The invention relates to a structurally simple microelectromechanical sensor element that can be produced at a low cost and is particularly suitable for use in a particle-containing environment. Said microelectromechanical sensor element (10) comprises a membrane (11) as a carrier of at least one sensor function. According to the invention, heating means (16, 17) are provided which heat the membrane (11) to a temperature exceeding the ambient temperature and maintain the membrane at said temperature level, thus preventing particles from attaching to and substances from being deposited on the membrane.
(FR) L'invention concerne un élément capteur micro-électromécanique de construction simple et de fabrication économique, qui est particulièrement bien approprié pour être utilisé dans un milieu chargé de particules. L'élément capteur micro-électromécanique (10) comprend une membrane (11) servant de support à au moins une fonction de capteur. Selon l'invention, des éléments chauffants (16, 17) permettent de chauffer la membrane (11) à une température supérieure à la température ambiante et de maintenir la membrane à ce niveau de température, ce qui permet d'éviter la fixation de particules et le dépôt de substances sur ladite membrane.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)