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1. (WO2009153235) ANORDNUNG EINES PIEZOAKUSTISCHEN RESONATORS AUF EINEM AKUSTISCHEN SPIEGEL EINES SUBSTRATS, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DER ANORDNUNG UND VERWENDUNG DER ANORDNUNG
Bekanntmachungen von Änderungen nach der Veröffentlichung
VeröffentlichungsdatumVeröffentlichungsartVeröffentlichungsgrund
23.12.2009A1Erstveröffentlichung mit ISR