Einige Inhalte dieser Anwendung sind momentan nicht verfügbar.
Wenn diese Situation weiterhin besteht, kontaktieren Sie uns bitte unterFeedback&Kontakt
1. (WO2009153061) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TRANSPORTIEREN VON GEGENSTÄNDEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2009/153061 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2009/004461
Veröffentlichungsdatum: 23.12.2009 Internationales Anmeldedatum: 19.06.2009
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
677
zum Transportieren oder Fördern, z.B. zwischen verschiedenen Bearbeitungsstationen
Anmelder:
RENA GMBH [DE/DE]; Ob der Eck 5 78148 Gütenbach, DE (AllExceptUS)
POTOFEEW, Vitalij [DE/DE]; DE (UsOnly)
BAREIS, Dirk [DE/DE]; DE (UsOnly)
KALTENBACH, Konrad [DE/DE]; DE (UsOnly)
DELAHAYE, Franck [FR/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
POTOFEEW, Vitalij; DE
BAREIS, Dirk; DE
KALTENBACH, Konrad; DE
DELAHAYE, Franck; DE
Vertreter:
STÜRKEN, Joachim; J. Stürken Patentanwaltsgesellschaft mbH Kirchenhölzle 18 79104 Freiburg, DE
Prioritätsdaten:
10 2008 028 848.919.06.2008DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TRANSPORTIEREN VON GEGENSTÄNDEN
(EN) METHOD AND DEVICE FOR TRANSPORTING OBJECTS
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR LE TRANSPORT D'OBJETS
Zusammenfassung:
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren und Vorrichtungen zum Transportieren von im Wesentlichen flachen, frei beweglichen Gegenständen, wobei zumindest das Halten und Führen unter ausschließlicher Verwendung einer strömenden Flüssigkeit erfolgt. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst mindestens eine Behandlungsfläche mit mindestens einem Anströmbereich mit einer Mehrzahl von Durchtrittsöffnungen, mindestens einen Ablaufbereich zum Ablaufen der Flüssigkeit nach dem Anströmen, jedoch keine nicht-fluidischen Kanten, Begrenzer oder sonstige mechanische Führungshilfen zum Führen des flachen Gegenstands. Eine auf der Erfindung basierende Transportvorrichtung kann vorzugsweise innerhalb und zwischen Behandlungsanlagen für flache Gegenstände oder Substrate angewendet werden. Ferner kann zeitgleich zum Transport eine vorzugsweise nasschemische Behandlung erfolgen, sofern die Transportflüssigkeit entsprechende Eigenschaften aufweist bzw. Substanzen oder Wirkstoffe beinhaltet.
(EN) The present invention relates to methods and devices for transporting substantially flat, freely movable objects, wherein at least the holding and guiding of the same is carried out solely through the use of a flowing liquid. The device according to the invention comprises at least one treatment surface having at least one flow region comprising a plurality of openings, at least one draining region for draining the liquid after the flow, however no non-fluidic edges, limiters, or other mechanical guide means for guiding the flat object. A transport device based on the invention may preferably be utilized within and between treatment systems for flat objects or substrates. Simultaneously with the transport a preferably wet-chemical treatment may be carried out, if the transport liquid has respective properties, or comprises respective substances or agents.
(FR) La présente invention concerne un procédé et des dispositifs pour le transport d'objets sensiblement plats se déplaçant librement. Le maintien et le guidage sont produits en utilisant exclusivement un liquide en circulation. Le dispositif selon l'invention comprend au moins une surface de traitement avec au moins une zone d'accostage avec une pluralité d'ouvertures de traversée, au moins une zone d'écoulement pour l'écoulement du liquide après l'accostage, mais sans arêtes non fluidiques, limiteurs ou autres accessoires mécaniques de guidage destinés à guider l'objet plat. Un dispositif se fondant sur l'invention peut avantageusement être utilisé à l'intérieur d'installations de traitement pour objets ou substrats plats ou entre celles-ci. De plus, en même temps que le transport peut avoir lieu un traitement chimique humide dans la mesure où le liquide de transport présente des propriétés correspondantes ou contient des substances ou des produits actifs correspondants.
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Auch veröffentlicht als:
EP2289097US20110097160ES2396037KR1020110016459CN102105974DK2289097
IN9015/DELNP/2010