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1. (WO2009149889) GLASPRODUKT

Pub. No.:    WO/2009/149889    International Application No.:    PCT/EP2009/004116
Publication Date: 17.12.2009 International Filing Date: 09.06.2009
IPC: C03C 17/34
C23C 14/06
Applicants: VOLKSWAGEN AKTIENGESELLSCHAFT
AUDI AG
FRAUNHOFER - GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
DRESCHER, Thomas
HANGLEITER, Bernd
SCHUETZ, Joachim
MATTHAI, Annegret
WALTER, Heike
HORSTMANN, Felix
SZYSZKA, Bernd
SITTINGER, Volker
WERNER, Wolfgang
BOENTORO, Tjhay, Weyna
Inventors: DRESCHER, Thomas
HANGLEITER, Bernd
SCHUETZ, Joachim
MATTHAI, Annegret
WALTER, Heike
HORSTMANN, Felix
SZYSZKA, Bernd
SITTINGER, Volker
WERNER, Wolfgang
BOENTORO, Tjhay, Weyna
Title: GLASPRODUKT
Abstract:
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Glasprodukt, umfassend ein Glassubstrat mit einer transparenten und leitfähigen Indiumzinnoxidschicht, die eine Deckschicht aufweist, welche eine Redoxbarriere für die Indiumzinnoxidschicht bildet, wobei die Indiumzinnoxidschicht durch gepulstes, hochionisierendes Hochleistungs-Magnetronsputtern (HPPMS), bei dem - die Pulse des Magnetrons eine Peakleistungsdichte aufweisen, die größer als 1,5 kW/cm2 ist, - die Pulse des Magnetrons eine Zeitdauer haben, die ≤ 200 μs ist, sowie - der mittlere Stromflussdichteanstieg beim Zünden des Plasmas innerhalb eines Zeitintervall, das ≤ 0.025 ms ist, mindestens 106 A/(ms cm2) beträgt, erhalten wird, und die Indiumzinnoxidschicht eine kristalline Struktur aufweist, derart, dass der (222)-Reflex eines Röntgenbeugungsspektrums nach dem Erzeugen der Indiumzinnoxidschicht gegenüber dem Pulverspektrum von Indiumzinnoxid um maximal 1°, vorzugsweise um 0,3° bis 0,5°, in Richtung Druckspannung verschoben ist und nach dem Tempern um maximal 1 °, vorzugsweise um 0,2° bis 0,4°, in Richtung des Pulverspektrums verschoben ist.