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1. (WO2009147135) BAUELEMENT AUS EINEM FERROMAGNETISCHEN FORMGEDÄCHTNISMATERIAL UND DESSSEN VERWENDUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2009/147135    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2009/056739
Veröffentlichungsdatum: 10.12.2009 Internationales Anmeldedatum: 02.06.2009
IPC:
H01L 41/20 (2006.01), F03G 7/06 (2006.01)
Anmelder: LEIBNIZ-INSTITUT FÜR FESTKÖRPER- UND WERKSTOFFFORSCHUNG DRESDEN E.V. [--/DE]; Helmholtzstraße 20 01069 Dresden (DE) (For All Designated States Except US).
FÄHLER, Sebastian [DE/DE]; (DE) (For US Only).
THOMAS, Michael; (DE) (For US Only).
HECZKO, Oleg; (DE) (For US Only).
BUSCHBECK, Jörg; (DE) (For US Only).
Mc CORD, Jeffrey; (DE) (For US Only)
Erfinder: FÄHLER, Sebastian; (DE).
THOMAS, Michael; (DE).
HECZKO, Oleg; (DE).
BUSCHBECK, Jörg; (DE).
Mc CORD, Jeffrey; (DE)
Vertreter: RAUSCHENBACH, Marion; (DE)
Prioritätsdaten:
10 2008 026 297.8 02.06.2008 DE
Titel (DE) BAUELEMENT AUS EINEM FERROMAGNETISCHEN FORMGEDÄCHTNISMATERIAL UND DESSSEN VERWENDUNG
(EN) CONSTRUCTION ELEMENT MADE OF A FERROMAGNETIC SHAPE MEMORY MATERIAL AND USE THEREOF
(FR) COMPOSANT EN MATÉRIAU FERROMAGNÉTIQUE À MÉMOIRE DE FORME ET SON UTILISATION
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Materialwissenschaften und betrifft ein Bauelement, welches beispielsweise für Mikrobauteile, Mikrosensoren und Mikroaktoren zur Anwendung kommen kann. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Bauelement anzugeben, bei welchem eine deutlich größere relative Längenänderungen auftritt. Die Aufgabe wird gelöst durch ein Bauelement aus einem ferromagnetischen Formgedächtnis-Material, hergestellt durch ein Verfahren, bei dem auf ein einkristallines oder biaxial texturiertes Substrat mindestens eine Opferschicht aufgebracht wird, auf die eine epitaktische oder texturierte Schicht aus einem ferromagnetischen Formgedächtnismaterial mit einer Schichtdicke von ≤ 50 μm aufgebracht wird, nachfolgend die Opferschicht mindestens teilweise entfernt wird, und während oder nach der Schichtaufbringung eine Strukturierung mindestens des ferromagnetischen Formgedächtnismaterials dahingehend realisiert wird, dass ein Aspektverhältnis erreicht wird, bei dem mindestens eine Länge um mindestens einen Faktor als 3 größer ist als die Dicke der Schicht oder der kürzesten Abmessung des Bauteils.
(EN)The invention refers to the area of materials science and relates to a construction element which can be used for micro-components, microsensors and microactuators, for example. The object of the present invention is to provide a construction element in which a much larger relative length change occurs. The object is accomplished by a construction element made of a ferromagnetic shape memory material manufactured through a process in which at least one sacrificial layer is applied to a monocrystalline or biaxially textured substrate, an epitactic or textured layer made of a ferromagnetic shape memory material with a layer thickness of ≤ 50 μm being applied to said sacrificial layer, whereupon the sacrificial layer is at least partially removed, and at least the ferromagnetic shape memory material is structured during or after the layer application so that an aspect ratio is achieved in which at least one length is greater than the thickness of the layer or the shortest dimension of the component by a factor of at least 3.
(FR)L'invention concerne le domaine des sciences des matériaux et porte sur un composant qui peut par exemple être utilisé pour des microcomposants, des microcapteurs et des microactionneurs. L'objet de la présente invention est la mise au point d'un composant qui offre des variations relatives de la longueur nettement supérieures. A cet effet, un composant en matériau ferromagnétique à mémoire de forme est fabriqué suivant un procédé selon lequel on applique sur un substrat monocristallin ou à texture biaxiale au moins une couche sacrificielle sur laquelle on réalise une couche épitaxiale ou texturée dans un matériau ferromagnétique à mémoire de forme d'une épaisseur de ≤ 50 µm, après quoi la couche sacrificielle est éliminée au moins partiellement. Pendant ou après l'application de la couche, on opère une structuration au moins du matériau ferromagnétique à mémoire de forme afin d'obtenir un rapport de forme dans lequel au moins une longueur est supérieure d'au moins un facteur 3 à l'épaisseur de la couche ou à la dimension la plus courte du composant.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)