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1. (WO2009147135) BAUELEMENT AUS EINEM FERROMAGNETISCHEN FORMGEDÄCHTNISMATERIAL UND DESSSEN VERWENDUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2009/147135 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2009/056739
Veröffentlichungsdatum: 10.12.2009 Internationales Anmeldedatum: 02.06.2009
IPC:
H01L 41/20 (2006.01) ,F03G 7/06 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
41
Piezoelektrische Bauelemente allgemein; Elektrostriktive Bauelemente allgemein; Magnetostriktive Bauelemente allgemein; Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung dieser Bauelemente oder von Teilen davon; Einzelheiten dieser Bauelemente; Einzelheiten dieser Bauelemente
16
Auswahl von Materialien
20
für magnetostriktive Bauelemente
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
03
Kraft- und Arbeitsmaschinen oder Kraftmaschinen für Flüssigkeiten; Wind-, Feder-, oder Gewichts-Kraftmaschinen; Erzeugen von mechanischer Energie oder von Vortriebskraft [Schub nach dem Prinzip des Rückstoßes], soweit nicht anderweitig vorgesehen
G
Feder-, Gewichts-, Trägheits- oder ähnliche Kraftmaschinen; Vorrichtungen oder Anordnungen zur Erzeugung mechanischer Energie, soweit nicht anderweitig vorgesehen oder mit Nutzbarmachung anderweitig nicht vorgesehener Energiequellen
7
Vorrichtungen oder Anordnungen zur Erzeugung von mechanischer Energie, soweit anderweitig nicht vorgesehen oder mit Ausnutzung anderweitig nicht vorgesehenen Energiequellen
06
von Ausdehnung oder Zusammenziehung von Körpern, verursacht durch Erwärmung, Kühlung, Befeuchtung, Trocknung oder Ähnlichem
Anmelder:
LEIBNIZ-INSTITUT FÜR FESTKÖRPER- UND WERKSTOFFFORSCHUNG DRESDEN E.V.; Helmholtzstraße 20 01069 Dresden, DE (AllExceptUS)
FÄHLER, Sebastian [DE/DE]; DE (UsOnly)
THOMAS, Michael; DE (UsOnly)
HECZKO, Oleg; DE (UsOnly)
BUSCHBECK, Jörg; DE (UsOnly)
Mc CORD, Jeffrey; DE (UsOnly)
Erfinder:
FÄHLER, Sebastian; DE
THOMAS, Michael; DE
HECZKO, Oleg; DE
BUSCHBECK, Jörg; DE
Mc CORD, Jeffrey; DE
Vertreter:
RAUSCHENBACH, Marion; DE
Prioritätsdaten:
10 2008 026 297.802.06.2008DE
Titel (DE) BAUELEMENT AUS EINEM FERROMAGNETISCHEN FORMGEDÄCHTNISMATERIAL UND DESSSEN VERWENDUNG
(EN) CONSTRUCTION ELEMENT MADE OF A FERROMAGNETIC SHAPE MEMORY MATERIAL AND USE THEREOF
(FR) COMPOSANT EN MATÉRIAU FERROMAGNÉTIQUE À MÉMOIRE DE FORME ET SON UTILISATION
Zusammenfassung:
(DE) Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Materialwissenschaften und betrifft ein Bauelement, welches beispielsweise für Mikrobauteile, Mikrosensoren und Mikroaktoren zur Anwendung kommen kann. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Bauelement anzugeben, bei welchem eine deutlich größere relative Längenänderungen auftritt. Die Aufgabe wird gelöst durch ein Bauelement aus einem ferromagnetischen Formgedächtnis-Material, hergestellt durch ein Verfahren, bei dem auf ein einkristallines oder biaxial texturiertes Substrat mindestens eine Opferschicht aufgebracht wird, auf die eine epitaktische oder texturierte Schicht aus einem ferromagnetischen Formgedächtnismaterial mit einer Schichtdicke von ≤ 50 μm aufgebracht wird, nachfolgend die Opferschicht mindestens teilweise entfernt wird, und während oder nach der Schichtaufbringung eine Strukturierung mindestens des ferromagnetischen Formgedächtnismaterials dahingehend realisiert wird, dass ein Aspektverhältnis erreicht wird, bei dem mindestens eine Länge um mindestens einen Faktor als 3 größer ist als die Dicke der Schicht oder der kürzesten Abmessung des Bauteils.
(EN) The invention refers to the area of materials science and relates to a construction element which can be used for micro-components, microsensors and microactuators, for example. The object of the present invention is to provide a construction element in which a much larger relative length change occurs. The object is accomplished by a construction element made of a ferromagnetic shape memory material manufactured through a process in which at least one sacrificial layer is applied to a monocrystalline or biaxially textured substrate, an epitactic or textured layer made of a ferromagnetic shape memory material with a layer thickness of ≤ 50 μm being applied to said sacrificial layer, whereupon the sacrificial layer is at least partially removed, and at least the ferromagnetic shape memory material is structured during or after the layer application so that an aspect ratio is achieved in which at least one length is greater than the thickness of the layer or the shortest dimension of the component by a factor of at least 3.
(FR) L'invention concerne le domaine des sciences des matériaux et porte sur un composant qui peut par exemple être utilisé pour des microcomposants, des microcapteurs et des microactionneurs. L'objet de la présente invention est la mise au point d'un composant qui offre des variations relatives de la longueur nettement supérieures. A cet effet, un composant en matériau ferromagnétique à mémoire de forme est fabriqué suivant un procédé selon lequel on applique sur un substrat monocristallin ou à texture biaxiale au moins une couche sacrificielle sur laquelle on réalise une couche épitaxiale ou texturée dans un matériau ferromagnétique à mémoire de forme d'une épaisseur de ≤ 50 µm, après quoi la couche sacrificielle est éliminée au moins partiellement. Pendant ou après l'application de la couche, on opère une structuration au moins du matériau ferromagnétique à mémoire de forme afin d'obtenir un rapport de forme dans lequel au moins une longueur est supérieure d'au moins un facteur 3 à l'épaisseur de la couche ou à la dimension la plus courte du composant.
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Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Auch veröffentlicht als:
EP2286472US20110163745