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1. (WO2009146855) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN EINER OPTISCHEN EIGENSCHAFT EINES OPTISCHEN SYSTEMS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2009/146855 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/EP2009/003853
Veröffentlichungsdatum: 10.12.2009 Internationales Anmeldedatum: 29.05.2009
IPC:
G01M 11/02 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
M
Prüfen der statischen oder dynamischen Massenverteilung rotierender Teile von Maschinen oder Konstruktionen; Prüfen von Konstruktionsteilen oder Apparaten, soweit nicht anderweitig vorgesehen
11
Prüfen optischer Apparate; Prüfen von Aufbauten oder Maschinenteilen durch optische Verfahren, soweit nicht anderweitig vorgesehen
02
Prüfen optischer Eigenschaften
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
Anmelder:
CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE (AllExceptUS)
HAIDNER, Helmut [DE/DE]; DE (UsOnly)
DRESSEN, Martin [DE/DE]; DE (UsOnly)
TUERKE, Diana [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
HAIDNER, Helmut; DE
DRESSEN, Martin; DE
TUERKE, Diana; DE
Vertreter:
CARL ZEISS AG; Patentabteilung Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen, DE
Prioritätsdaten:
10 2008 002 247.005.06.2008DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN EINER OPTISCHEN EIGENSCHAFT EINES OPTISCHEN SYSTEMS
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING AN OPTICAL CHARACTERISTIC OF AN OPTICAL SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE DÉTERMINATION D'UNE PROPRIÉTÉ OPTIQUE D'UN SYSTÈME OPTIQUE
Zusammenfassung:
(DE) Ein Verfahren zum Bestimmen einer optischen Eigenschaft eines optischen Systems (12) umfasst die Schritte: Einstrahlen elektromagnetischer Strahlung (17) auf das optische System (12), Erfassen der elektromagnetischen Strahlung (17) mittels eines Detektors (36) nach Wechselwirkung derselben mit dem optischen System (12), periodisches Unterbrechen der elektromagnetischen Strahlung (17), so dass die elektromagnetische Strahlung (17) in zeitlich begrenzten Strahlungspaketen auf den Detektor (36) auftrifft, sowie Auswerten von mindestens zwei vom Detektor (36) erfassten Strahlungspaketen zum Bestimmen der optischen Eigenschaft des optischen Systems (12).
(EN) A method for determining an optical characteristic of an optical system (12) comprises the following steps: irradiating the optical system (12) with electromagnetic radiation (17), detecting the electromagnetic radiation (17) using a detector (36) after its interaction with the optical system (12), periodically interrupting the electromagnetic radiation (17) such that the electromagnetic radiation (17) impinges on the detector (36) in temporally limited radiation packets, and evaluating at least two radiation packets detected by the detector (36) for determining the optical characteristic of the optical system (12).
(FR) L'invention porte sur un procédé de détermination d'une propriété optique d'un système optique (12), procédé qui comprend les étapes de : irradiation électromagnétique (17) sur le système optique (12), détection du rayonnement électromagnétique (17) à l'aide d'un détecteur (36) après son interaction avec le système optique (12), interruption périodique du rayonnement électromagnétique (17) de façon à ce que le rayonnement électromagnétique (17) vienne toucher le détecteur (36) sous forme de paquets de rayonnement limités dans le temps, et évaluation d'au moins deux paquets de rayonnement détectés par le détecteur (36), pour détermination de la propriété optique du système optique (12).
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)