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1. (WO2009090098) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER SOLARZELLE

Pub. No.:    WO/2009/090098    International Application No.:    PCT/EP2009/000279
Publication Date: 23.07.2009 International Filing Date: 17.01.2009
IPC: H01L 31/0224
C23C 14/04
C23C 14/28
H01L 21/285
Applicants: SCHMID TECHNOLOGY GMBH
BUCHNER, Christian
SAUTER, Thomas
Inventors: BUCHNER, Christian
SAUTER, Thomas
Title: VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER SOLARZELLE
Abstract:
Bei einem Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle mit Aufbringen von elektrisch leitfähigem Leitermaterial (21, 25) auf eine Seite (14, 15) eines Silizium-Substrats (13) ist ein Leitermaterialträger (18) mit Abstand zu dem Silizium-Substrat (13) angeordnet. Der Leitermaterialträger (18) ist lichtdurchlässig und trägt auf einer dem Silizium-Substrat (13) zugewandten Seite (20) pastöses Leitermaterial (21). Ein fokussierter Laserstrahl (23) wird auf die von dem Silizium-Substrat (13) abgewandte Seite (19) des Leitermaterialträgers (18) eingekoppelt zum Ablösen des Leitermaterials (21, 25) in spezieller Form entsprechend der vom Laserstrahl (23) angestrahlten Punkte oder Linien. Dabei wird das abgelöste Leitermaterial (21, 25) auf die ihm gegenüberliegende Oberfläche (14, 15) des Silizium-Substrats (13) übertragen. Dort bildet es eine gewünschte Struktur, die durch Einbrennen verfestigt wird.