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1. (WO2009087055) MIKROMECHANISCHER DRUCKSENSOR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2009/087055    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2008/068146
Veröffentlichungsdatum: 16.07.2009 Internationales Anmeldedatum: 22.12.2008
IPC:
G01L 9/00 (2006.01)
Anmelder: CIS FORSCHUNGSINSTITUT FÜR MIKROSENSORIK UND PHOTOVOLTAIK GMBH [DE/DE]; Konrad-Zuse-Strasse 14, 99099 Erfurt (DE) (For All Designated States Except US).
BROKMANN, Geert [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: BROKMANN, Geert; (DE)
Vertreter: LIEDTKE & PARTNER; Elisabethstrasse 10, 99096 Erfurt (DE)
Prioritätsdaten:
10 2008 003 716.8 09.01.2008 DE
Titel (DE) MIKROMECHANISCHER DRUCKSENSOR
(EN) MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION MICROMÉCANIQUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Drucksensor mit einem Substrat und einer Membran, an der sich piezoelektrische Sensorelemente befinden. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Drucksensor zu schaffen, der geringe Abmessungen aufweist und bei dem Torsionsbeanspruchungen der Membran weitgehend vermieden werden. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit einer Anordnung gelöst, bei der das Substrat einen Rahmen (1) aufweist, an dem die Membran (2) angeordnet ist, wobei sich an der Unterseite der Membran (2) ein zentral angeordnetes Masseelement (3) befindet und die Membran (2) an streifenförmigen Abschnitten, die sich zwischen Rahmen 1 und Masseelement (3) befinden, mit jeweils zwei partiellen Verstärkungen (2.1, 2.2) versehen ist.
(EN)The invention relates to a micromechanical pressure sensor with a substrate and a membrane, on which piezoelectric sensor elements are located. The aim of the invention is to provide a pressure sensor which has minimal dimensions and in which torsional loads of the membrane are extensively avoided. This task is solved according to the invention by an arrangement in which the substrate has a frame (1), on which the membrane (2) is arranged, wherein a centrally arranged mass element (3) is located on the underside of the membrane (2) and the membrane (2) is in each case provided with two partial reinforcements (2.1, 2.2) on striated sections, located between frame 1 and the mass element (3).
(FR)La présente invention concerne un capteur de pression micromécanique comprenant un substrat et une membrane sur laquelle sont disposés des éléments piézoélectriques. L'objet de l'invention est de fabriquer un capteur de pression de faibles dimensions et pouvant être largement évité en cas de sollicitations de torsion de la membrane. Selon l'invention, le substrat comprend un cadre (1) sur lequel est disposée la membrane (2), un élément de masse (3) étant disposé de manière centrale sur la partie inférieure de la membrane (2), et la membrane (2) comprenant deux renforcements partiels (2.1, 2.2) sur des sections formant des stries, lesdites sections se trouvant entre le cadre (1) et l'élément de masse (3).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)