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1. WO2009083181 - VORRICHTUNG ZUR DETEKTION VON WÄRMESTRAHLUNG MIT EINEM PYROELEKTRISCHEN DETEKTOR-ARRAY, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN UND VERWENDUNG DER VORRICHTUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2009/083181
Veröffentlichungsdatum 09.07.2009
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2008/010903
Internationales Anmeldedatum 19.12.2008
IPC
G01J 5/34 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
5Strahlungspyrometrie
10mittels elektrischer Strahlungsdetektoren
34mittels Kondensatoren
CPC
G01J 5/34
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
10using electric radiation detectors
34using capacitors ; , e.g. pyroelectric elements
Anmelder
  • PYREOS LTD. [GB]/[GB] (AllExceptUS)
  • GIEBELER, Carsten [DE]/[GB] (UsOnly)
  • SCHREITER, Matthias [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • GIEBELER, Carsten
  • SCHREITER, Matthias
Vertreter
  • ELBEL, Michaela
Prioritätsdaten
10 2007 062 053.721.12.2007DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG ZUR DETEKTION VON WÄRMESTRAHLUNG MIT EINEM PYROELEKTRISCHEN DETEKTOR-ARRAY, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN UND VERWENDUNG DER VORRICHTUNG
(EN) DEVICE FOR THE DETECTION OF HEAT RADIATION HAVING A PYROELECTRIC DETECTOR ARRAY, METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF, AND USE OF THE DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION DE RAYONNEMENT THERMIQUE AVEC UN RÉSEAU DÉTECTEUR PYROÉLECTRIQUE, PROCÉDÉ DE FABRICATION ET UTILISATION DUDIT DISPOSITIF
Zusammenfassung
(DE) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Detektion von Wärmestrahlung mit einem Substrat mit einer Substratoberfläche, einem auf der Substratoberfläche angeordneten pyroelektrischen Detektorelement in Dünnschichtbauweise mit einer der Substratoberfläche zugewandten unteren Elektrodenschicht, einer der Substratoberfläche abgewandten oberen Elektrodenschicht und einer zwischen den Elektrodenschichten angeordneten pyroelektrisch aktiven Schicht, mindestens einem auf der Substratoberfläche neben dem pyroelektrischem Detektorelement angeordneten weiteren pyroelektrischem Detektorelement in Dünnschichtbauweise mit einer der Substratoberfläche zugewandten weiteren unteren Elektrodenschicht, einer der Substratoberfläche abgewandten weiteren oberen Elektrodenschicht und einer zwischen den weiteren Elektrodenschichten angeordneten weiteren pyroelektrisch aktiven Schicht, wobei die unteren Elektrodenschichten der Detektorelemente elektrisch von einander isoliert sind und die pyroelektrisch aktiven Schichten der Detektorelemente von einer zusammenhängenden Keramikschicht gebildet sind. Daneben wird ein Verfahren zum Herstellen der Vorrichtung zur Detektion von Wärmestrahlung mit folgenden Verfahrensschritten angegeben: a) Bereitstellen eines Substrats mit einer Substratoberfläche, b) Anordnen der unteren Elektrodenschicht und Anordnen der weiteren unteren Elektrodenschicht auf der Substratoberfläche, so dass die unteren Elektrodenschichten elektrisch voneinander isoliert sind, c) Anordnen der zusammenhängenden Keramikschicht auf den unteren Elektrodenschichten und d) Anordnen der oberen Elektrodenschichten auf der Keramikschicht. Verwendung findet die Vorrichtung in Bewegungsmeldern, Präsenzmeldern und Wärmebildkameras.
(EN) The invention relates to a device for the detection of heat radiation having a substrate comprising a substrate surface, a pyroelectric detector element in thin layer construction that is disposed on the substrate surface and has a lower electrode layer facing the substrate layer, an upper electrode layer facing away from the substrate surface, and a pyroelectrically active layer disposed between the electrode layers, at least one further pyroelectric detector element in thin layer construction that is disposed on the substrate surface next to the pyroelectric detector element and has a further lower electrode layer facing the substrate surface, a further upper electrode layer facing away from the substrate surface, and a further pyroelectrically active layer disposed between the further electrode layers, wherein the lower electrode layers of the detector elements are electrically insulated from each other, and the pyroelectrically active layers of the detector elements are formed by a cohesive ceramic layer. The invention further provides a method for the production of the device for the detection heat radiation, comprising the following steps: a) providing a substrate having a substrate surface, b) disposing the lower electrode layer, and disposing the further lower electrode layer on the substrate surface such that the lower electrode layers are electrically insulated from each other, c) disposing the cohesive ceramic layer on the lower electrode layers, and d) disposing the upper electrode layers on the ceramic layer. The device is utilized in motion detectors, presence detectors, and thermal imaging cameras.
(FR) L'invention concerne un dispositif de détection de rayonnement thermique, comportant un substrat présentant une surface de substrat, un élément détecteur pyroélectrique disposé sur la surface du substrat en couches minces, ayant une couche d'électrode inférieure tournée vers la surface du substrat, une couche d'électrode supérieure opposée à la surface du substrat et une couche pyroélectriquement active disposée entre les couches d'électrodes, ainsi qu'au moins un autre élément détecteur pyroélectrique disposé sur la surface du substrat en couches minces à côté dudit élément détecteur pyroélectrique, ayant une autre couche d'électrode inférieure tournée vers la surface du substrat, une autre couche d'électrode supérieure opposée à la surface du substrat, et une autre couche pyroélectriquement active disposée entre les autres couches d'électrodes. Les couches d'électrodes inférieures des éléments détecteurs sont électriquement isolées les unes des autres, et les couches pyroélectriquement actives des éléments détecteurs sont formées par une couche céramique continue. L'invention concerne également un procédé de fabrication du dispositif de détection de rayonnement thermique, qui comprend les étapes suivantes : a) préparation d'un substrat ayant une surface de substrat; b) disposition sur la surface du substrat de la couche d'électrode inférieure et de l'autre couche d'électrode inférieure, de sorte que les couches d'électrodes sont électriquement isolées entre elles, c) disposition de la couche céramique continue sur les couches d'électrodes inférieures et d) disposition des couches d'électrodes supérieures sur la couche céramique. Le dispositif est utilisé dans des détecteurs de mouvement, des détecteurs de présence et des caméras thermiques.
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