WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Suche
 
Durchsuchen
 
Übersetzen
 
Optionen
 
Aktuelles
 
Einloggen
 
Hilfe
 
Maschinelle Übersetzungsfunktion
1. (WO2009080010) BESCHICHTUNGSVORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG EINES SUBSTRATES BEI ATMOSPHÄRENBEDINGUNGEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2009/080010    Internationale Anmeldenummer    PCT/DE2008/002122
Veröffentlichungsdatum: 02.07.2009 Internationales Anmeldedatum: 15.12.2008
IPC:
C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/453 (2006.01), C23C 16/513 (2006.01)
Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastrasse 27, 80686 MÜnchen (DE) (For All Designated States Except US).
MÄDER, Gerrit [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ROCH, Julius [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KAPHENGST, Felix [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: MÄDER, Gerrit; (DE).
ROCH, Julius; (DE).
KAPHENGST, Felix; (DE)
Vertreter: PFENNING, MEINIG & PARTNER GBR; An der Frauenkirche 20, 01067 Dresden (DE)
Prioritätsdaten:
10 2007 063 380.9 20.12.2007 DE
Titel (DE) BESCHICHTUNGSVORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG EINES SUBSTRATES BEI ATMOSPHÄRENBEDINGUNGEN
(EN) COATING DEVICE FOR COATING A SUBSTRATE UNDER ATMOSPHERIC CONDITIONS
(FR) DISPOSITIF DE REVÊTEMENT POUR REVÊTIR UN SUBSTRAT DANS DES CONDITIONS ATMOSPHÉRIQUES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung beschreibt eine Beschichtungsvorrichtung zur Beschichtung eines Substrates bei Atmosphärenbedingungen sowie ein Verfahren für die Modifizierung von Substratoberflächen bei Atmosphärenbedingungen. Aufgabe der Erfindung ist es, einen Atmosphärendruckdurchlaufreaktor bzw. eine Beschichtungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen, der bzw. die so ausgebildet ist, dass eine homogene Schichtabscheidung in einem im Vergleich zum Stand der Technik deutlich erweiterten Parameterfeld möglich ist, und dass eine deutlich erhöhte Flexibilität in Bezug auf die Verwendung für unterschiedliche Beschichtungen oder Schichtsysteme vorliegt. Die Beschichtungsvorrichtung weist eine ortsfest angeordnete Plasmaquelle, einen relativ zur Plasmaquelle in eine erste Bewegungsrichtung (Vorschubrichtung) bewegbaren Substratträger, welcher auf einer der Plasmaquelle zugewandten Seite ausgebildet ist, zum Tragen und zum Transport eines zu beschichtenden Substrats und eine relativ zur Plasmaquelle in einer zweiten Bewegungsrichtung (B2), welche zumindest teilweise nicht der ersten Bewegungsrichtung entspricht, bewegbare Austrittsvorrichtung für das Plasma der Plasmaquelle, wobei die Austrittsvorrichtung mindestens eine Austrittsöffnung auf. Die Austrittsvorrichtung ist so angeordnet und entlang der zweiten Bewegungsrichtung bewegbar, dass über die mindestens eine Austrittsöffnung Plasma aus der Plasmaquelle in Richtung auf die Substratoberfläche richtbar ist.
(EN)The invention relates to a coating device for coating a substrate under atmospheric conditions and to a method for modifying substrate surfaces under atmospheric conditions. The aim of the invention is to provide an atmospheric pressure continuous flow reactor or a coating device which is designed to facilitate the deposition of a homogeneous coating in a parameter field that is significantly extended in comparison to prior art, thus obtaining a significantly increased flexibility in terms of the use of different coatings or coating systems. The coating device has a locally fixed plasma source, a substrate carrier that be moved in relation to the plasma source in a first direction (feed direction), said carrier being located on a side facing the plasma source to support and transport a substrate to be coated, and an outlet device for the plasma of the plasma source, which can be moved in relation to the plasma source in a second direction (B2), at least part of which does not correspond to the first direction. The outlet device has at least one outlet opening and is situated and can be moved in the second direction in such a way that plasma from the plasma source can be directed onto the substrate surface via the outlet opening(s).
(FR)L'invention concerne un dispositif de revêtement pour revêtir un substrat dans des conditions atmosphériques, et un procédé pour modifier des surfaces de substrats dans des conditions atmosphériques. L'invention vise à fournir un réacteur par circulation à la pression atmosphérique ou encore un dispositif de revêtement qui soit conçu de telle sorte qu'on puisse obtenir un dépôt en couche homogène avec un champ de paramètres nettement élargi par rapport à l'état de la technique, et qu'on dispose d'une flexibilité nettement accrue en terme d'utilisation pour différents revêtements ou systèmes de couches. Le dispositif de revêtement présente : une source de plasma disposée en un emplacement fixe ; un support de substrat, réalisé sur un côté tourné vers la source de plasma et mobile par rapport à la source de plasma dans une première direction de déplacement (direction d'avancement), pour porter et transporter un substrat à revêtir ; et un dispositif de sortie pour le plasma de la source de plasma, mobile par rapport à la source de plasma dans une seconde direction de déplacement (B2) qui au moins pour partie ne correspond pas à la première direction de déplacement, le dispositif de sortie présentant au moins une ouverture de sortie. Le dispositif de sortie est disposé et est mobile le long de la seconde direction de déplacement de telle sorte que, par la ou les ouvertures de sortie, du plasma provenant de la source de plasma peut être dirigé sur la surface du substrat. +++++++++++++++++
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)