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1. (WO2009059807) VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN ELEKTRISCH ISOLIERENDER SCHICHTEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2009/059807 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2008/052521
Veröffentlichungsdatum: 14.05.2009 Internationales Anmeldedatum: 29.02.2008
IPC:
H01J 37/32 (2006.01) ,C23C 14/32 (2006.01)
Anmelder: RAMM, Jürgen[DE/CH]; CH (UsOnly)
WOHLRAB, Christian[AT/AT]; AT (UsOnly)
OERLIKON TRADING AG, TRÜBBACH[CH/CH]; c/o OC Oerlikon Balzers AG Hauptstrasse CH-9477 Trübbach, CH (AllExceptUS)
Erfinder: RAMM, Jürgen; CH
WOHLRAB, Christian; AT
Vertreter: TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG; Jacques Troesch Schwaentenmos 14 CH-8126 Zumikon, CH
Prioritätsdaten:
11/937,07108.11.2007US
Titel (EN) METHOD FOR DEPOSITING ELECTRICALLY INSULATING LAYERS
(FR) PROCÉDÉ DE SÉPARATION DE COUCHES ÉLECTRIQUEMENT ISOLANTES
(DE) VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN ELEKTRISCH ISOLIERENDER SCHICHTEN
Zusammenfassung: front page image
(EN) The invention relates to a method for operating an arc source, wherein an electric spark discharge is ignited or operated on a surface of a target (5) and the spark discharge is simultaneously supplied with a direct current, with which a direct voltage is associated, and with a pulse current generated by a periodically applied voltage signal. The voltage is increased at the arc source for several microseconds, or the signal wave form of the voltage signal is substantially freely adjustable.
(FR) La présente invention concerne un procédé destiné à faire fonctionner une source d'arc, une décharge d'étincelles électriques étant déclenchée et/ou actionnée sur une surface d'une cible (5). La décharge d'étincelles est alimentée simultanément avec un courant continu auquel est associée une tension continue DV, ainsi qu'avec un courant d'impulsion produit par un signal de tension périodique. Ainsi, la tension sur la source d'arc est augmentée de plusieurs microsecondes et/ou la forme de signal du signal de tension est essentiellement librement réglable.
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben einer Arcquelle, wobei eine elektrische Funkenentladung auf einer Oberfläche eines Targets (5) gezündet bzw. betrieben wird, und die Funkenentladung gleichzeitig mit einem Gleichstrom, dem eine Gleichspannung DV zugeordnet ist, als auch mit einem durch ein periodisch angelegtes Spannungs Signal erzeugten Pulsstrom gespeist wird. Dabei wird die Spannung an der Arcquelle über mehrere MikroSekunden erhöht bzw. die Signalform des Spannungsignals im Wesentlichen frei einstellbar.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)