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1. WO2009049752 - VORRICHTUNG FÜR EINE BESTRAHLUNGSEINHEIT

Veröffentlichungsnummer WO/2009/049752
Veröffentlichungsdatum 23.04.2009
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2008/008045
Internationales Anmeldedatum 23.09.2008
IPC
H05B 3/00 2006.01
HElektrotechnik
05Elektrotechnik, soweit nicht anderweitig vorgesehen
BElektrische Heizung; elektrische Beleuchtung, soweit nicht anderweitig vorgesehen
3Widerstandsheizung
C23C 14/54 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
23Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
CBeschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
22gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
54Steuern oder Regeln des Beschichtungsvorganges
C23C 16/48 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
23Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
CBeschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
16Chemisches Beschichten durch Zersetzen gasförmiger Verbindungen ohne Verbleiben von Reaktionsprodukten des Oberflächenmaterials im Überzug, d.h. Verfahren zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase
44gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
48durch Bestrahlung, z.B. durch Fotolyse, durch Radiolyse, durch Teilchenbestrahlung
CPC
C23C 16/481
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
16Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
44characterised by the method of coating
48by irradiation, e.g. photolysis, radiolysis, particle radiation
481by radiant heating of the substrate
H05B 2203/032
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2203Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
032Heaters specially adapted for heating by radiation heating
H05B 3/0038
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Ohmic-resistance heating
0033Heating devices using lamps
0038for industrial applications
Anmelder
  • HERAEUS NOBLELIGHT GMBH [DE/DE]; Heraeusstrasse 12-14 63450 Hanau, DE (AllExceptUS)
  • LINOW, Sven [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder
  • LINOW, Sven; DE
Vertreter
  • KÜHN, Hans-Christian; Heraeus Holding GmbH Schutzrechte Heraeusstrasse 12-14 D-63450 Hanau, DE
Prioritätsdaten
10 2007 048 564.809.10.2007DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG FÜR EINE BESTRAHLUNGSEINHEIT
(EN) APPARATUS FOR AN IRRADIATION UNIT
(FR) DISPOSITIF POUR UNITÉ D'IRRADIATION
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einer Kammer (1) für die Bestrahlung zumindest eines Substrates (2) umfassend eine Schleuse zur Einführung und Entnahme des Substrates (2), einen Substrathalter innerhalb der Kammer, eine Vakuumpumpe (4) und zumindest eine Bestrahlungseinheit (5) zur Bestrahlung des Substrates (2), wobei die Bestrahlungseinheit (5) zumindest einen Infrarotstrahler mit einem integrierten Reflektor umfasst.
(EN)
The invention relates to an apparatus with a chamber (1) for irradiating at least one substrate (2), comprising a lock for introducing and removing the substrate (2), a substrate holder within the chamber, a vacuum pump (4) and at least one irradiation unit (5) for irradiating the substrate (2), wherein the irradiation unit (5) comprises at least one infrared radiator with an integrated reflector.
(FR)
L'invention concerne un dispositif présentant une chambre (1) pour l'irradiation d'au moins un substrat (2), comprenant : un sas pour l'introduction et le retrait du substrat (2), un porte-substrat à l'intérieur de la chambre, une pompe à vide (4), et au moins une unité d'irradiation (5) pour l'irradiation du substrat (2), caractérisé en ce que l'unité d'irradiation (5) comprend au moins un émetteur de rayonnement infrarouge présentant un réflecteur intégré.
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