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1. (WO2009046702) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR AUSBILDUNG VON BESCHICHTUNGEN AUF SUBSTRATEN, INNERHALB VON VAKUUMKAMMERN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2009/046702    Internationale Anmeldenummer    PCT/DE2008/001650
Veröffentlichungsdatum: 16.04.2009 Internationales Anmeldedatum: 06.10.2008
IPC:
H01J 37/32 (2006.01), C23C 14/32 (2006.01)
Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastrasse 27c, 80686 München (DE) (For All Designated States Except US).
MEYER, Carl-Friedrich [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: MEYER, Carl-Friedrich; (DE)
Vertreter: PFENNING, MEINIG & PARTNER GBR; An der Frauenkirche 20, 01067 Dresden (DE)
Prioritätsdaten:
10 2007 049 649.6 10.10.2007 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR AUSBILDUNG VON BESCHICHTUNGEN AUF SUBSTRATEN, INNERHALB VON VAKUUMKAMMERN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR FORMING COATINGS ON SUBSTRATES INSIDE VACUUM CHAMBERS
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR FORMER DES REVÊTEMENTS SUR DES SUBSTRATS, À L'INTÉRIEUR DE CHAMBRES À VIDE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Bei der Vorrichtung wird zwischen mindestens einer Kathode und mindestens einer Anode (1) ein gepulster elektrischer Gleichstrombogen gezündet und dadurch ein Plasma gebildet. Kathode (n) und Anode (n) sind außerdem relativ zueinander bewegbar. An Anoden sind mehrere vollständig oder teilweise durch Schlitze voneinander getrennte Anodenfinger (9), die in Richtung auf ein zu beschichtendes Substrat ausgerichtet sind, vorhanden. Die Anode (n) sind mit einem Anodenfuß ausgebildet (1.1), der in Form eines radial nach außen gerichteten Flansches ausgebildet ist. Dort ist ein elektrischer Anschlusskontakt (6) der Anode angeordnet. In einer Ausführungsform sind an Anodenfingern ein radial nach außen gerichteter Anodenf ingerfuß (9.1) vorhanden, an dem ein elektrischer Anschlusskontakt vorhanden ist. Anodenfinger können auch elektrisch leitend mit einem Anschlusskontakt elektrisch leitend verbunden sein, so dass mit dem Anodenstrom ein magnetisches Feld zur Führung von elektrischen Bogenentladungen um deren Brennfleck auf der Kathode ausgebildet wird.
(EN)In the device, a pulsed direct current arc is ignited between at least one cathode and at least one anode (1), and thereby a plasma is formed. In addition, the cathode(s) and anode(s) can be moved relative to each other. Multiple anode fingers (9) are present on the anodes and are separated from each other entirely or partially by slits, the anode fingers oriented in the direction of a substrate to be coated. The anode(s) are constructed with an anode foot (1.1), which is designed in the shape of a flange oriented radially to the outside. An electrical connection contact (6) of the anode is arranged there. In one embodiment, an anode finger foot (9.1) oriented outward is present on the anode fingers and has an electrical connection contact. The anode fingers can also be connected to a connection contact in an electrically conducting manner, such that a magnetic field is formed with the anode current, to guide electric arc discharges about the arc spot thereof on the cathode.
(FR)L'invention concerne un dispositif et un procédé pour former des revêtements sur des substrats, à l'intérieur de chambres à vide. L'invention vise à fournir des possibilités de formation de revêtements à l'intérieur de chambres à vide qui permettent de réduire les coûts d'appareillage et d'exploitation, et d'augmenter la durée de service effective. Concernant le dispositif, un arc électrique de courant continu pulsé est amorcé entre au moins une cathode et au moins une anode, et un plasma est ainsi formé. De plus, la ou les cathodes et la ou les anodes sont à mobilité relative. Des doigts d'anode séparés entre eux totalement ou partiellement par des fentes sont présents sur les anodes, doigts qui sont dirigés vers un substrat à revêtir. La ou les anodes sont réalisées avec une base d'anode qui est réalisée sous la forme d'une bride dirigée radialement vers l'extérieur. Un contact de connexion électrique de l'anode y est disposé. Dans une forme de réalisation, une base de doigt d'électrode dirigée radialement vers l'extérieur, sur laquelle se trouve un contact de connexion électrique, est présente sur les doigts d'anode. Les doigts d'anode peuvent aussi être reliés en conduction électrique à un contact de connexion, de sorte qu'on forme avec le courant d'anode un champ magnétique pour diriger des décharges électriques en arc autour de leur foyer sur la cathode.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)