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1. WO2009043752 - VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR JUSTIERUNG VON MESSNADELN

Veröffentlichungsnummer WO/2009/043752
Veröffentlichungsdatum 09.04.2009
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2008/062609
Internationales Anmeldedatum 22.09.2008
IPC
G01R 31/28 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
RMessen elektrischer Größen; Messen magnetischer Größen
31Anordnungen zum Prüfen auf elektrische Eigenschaften; Anordnungen zur Bestimmung des Ortes elektrischer Fehler; Anordnungen zum elektrischen Prüfen, gekennzeichnet durch den zu prüfenden Gegenstand, soweit nicht anderweitig vorgesehen
28Prüfen elektronischer Schaltungen, z.B. Signalverfolger
CPC
G01R 31/2891
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
2851Testing of integrated circuits [IC]
2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
2891related to sensing or controlling of force, position, temperature
Anmelder
  • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2 80333 München, DE (AllExceptUS)
  • GERHARD, Detlef [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder
  • GERHARD, Detlef; DE
Gemeinsamer Vertreter
  • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT; Postfach 22 16 34 80506 München, DE
Prioritätsdaten
10 2007 046 446.228.09.2007DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR JUSTIERUNG VON MESSNADELN
(EN) METHOD AND DEVICE FOR ADJUSTING MEASURING PROBES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'AJUSTEMENT D'AIGUILLES DE MESURE
Zusammenfassung
(DE)
Verfahren zur automatischen Justierung von Messnadeln (3) relativ zu Oberflächen von Prüflingen, wie elektronischen Bauelementen, wobei die Messnadeln zum elektrischen Prüfen relativ zum Prüfling verfahren werden und nach dem Aufsetzen und Kontaktieren entsprechend elektrisch Prüfen, wobei mittels eines optischen Sensors die Lage von Messnadeln (3) in einem Prüfsystem erkannt wird, eine Bildverarbeitung Fehlstellungen hinsichtlich einer Verdrehung einer Gruppe von Messnadeln ermittelt, und bei wesentlichen Fehlstellungen eine mit mehreren Messnadeln bestückte Messnadelspinne (1) mittels eines Stellantriebs (10) in die korrekte Lage gedreht wird.
(EN)
The invention relates to a method for automatically adjusting measuring probes (3) in relation to the surface of test samples, such as electronic components. Said measuring probes are driven in relation to the test sample in order to carry out electrical testing and after positioning and contacting carry out a corresponding electrical test. According to the method, the position of measuring probes (3) in a test system is identified by means of an optical sensor, an image processing operation identifies the incorrect positioning in terms of torsion of a group of measuring probes and if the incorrect positioning is substantial, a measuring probe spider (1) provided with several measuring probes is rotated into the correct position by means of an actuating mechanism (10).
(FR)
La présente invention concerne un procédé d'ajustement automatique d'aiguilles de mesure (3) par rapport à des surfaces d'échantillons, tels que des composants électroniques. Afin d'effectuer un test électrique, les aiguilles de mesure sont déplacées par rapport à l'échantillon, puis, après avoir été placées et mises en contact, elles effectuent un test électrique correspondant. La position des aiguilles de mesure (3) dans un système de test est détectée au moyen d'un capteur optique, un traitement d'image permet de déterminer des positionnements incorrects relatifs à une rotation d'un groupe d'aiguilles de mesure et, lorsque ces positionnements incorrects sont importants, une boîte de distribution d'aiguilles de mesure (1) équipée de plusieurs aiguilles de mesure est tournée dans la position correcte au moyen d'un mécanisme d'entraînement (10).
Auch veröffentlicht als
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