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1. (WO2009043571) VORRICHTUNG ZUR DETEKTION VON WÄRMESTRAHLUNG MIT HOHER AUFLÖSUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG

Pub. No.:    WO/2009/043571    International Application No.:    PCT/EP2008/008280
Publication Date: 09.04.2009 International Filing Date: 29.09.2008
IPC: G01J 5/10
G01J 5/12
G01J 5/34
H01L 27/16
H01L 31/101
H01L 37/00
Applicants: PYREOS LTD.
GIEBELER, Carsten
RETTIG, Uwe
SCHREITER, Matthias
Inventors: GIEBELER, Carsten
RETTIG, Uwe
SCHREITER, Matthias
Title: VORRICHTUNG ZUR DETEKTION VON WÄRMESTRAHLUNG MIT HOHER AUFLÖSUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Detektion von Wärmestrahlung, mit einer Membran (101) und mindestens zwei Detektorelementen (11), die jeweils zum Umwandeln von Wärmestrahlung in ein elektrisches Signal eingerichtet und auf der Membran nebeneinander liegend angebracht sind, wobei auf der den Detektorelementen zugewandten Seite der Membran und/oder auf der den Detektorelementen abgewandten Seite der Membran mindestens eine Wärmeableitbahn (104) vorgesehen ist, die eine höhere Wärmeleitfähigkeit als die Membran hat und mit den Detektorelementen via die Membran wärmeleitend verbunden ist, so dass Wärme von den Detektorelementen mit der Wärmeableitbahn abführbar ist, wodurch die Ansprechzeit der Detektorelemente hoch ist, und wobei in der Membran integriert mindestens eine Wärmebarriere (105) vorgesehen ist, die eine niedrigere Wärmeleitfähigkeit als die Membran hat und zwischen den Detektorelementen sich erstreckt, so dass von der Wärmebarriere eine Wärmeleitung in der Membran von dem einen Detektorelement zu dem anderen Detektorelement behindert ist, wodurch das Übersprechen der Detektorelemente gering ist.