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1. (WO2009043485) VERFAHREN UND OPTISCHE ANORDNUNG ZUR UNTERSUCHUNG EINER PROBE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2009/043485    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2008/007784
Veröffentlichungsdatum: 09.04.2009 Internationales Anmeldedatum: 18.09.2008
IPC:
G02B 21/06 (2006.01), G02B 21/18 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10, 07745 Jena (DE) (For All Designated States Except US).
POWER, Christopher [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LIPPERT, Helmut [DE/DE]; (DE) (For US Only).
DIETRICH, Christian [DE/DE]; (DE) (For US Only).
RADT, Benno [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: POWER, Christopher; (DE).
LIPPERT, Helmut; (DE).
DIETRICH, Christian; (DE).
RADT, Benno; (DE)
Vertreter: HAMPE, Holger; c/o Carl Zeiss Jena GmbH, Carl-Zeiss-Promenade 10, 07745 Jena (DE)
Prioritätsdaten:
10 2007 047 461.1 28.09.2007 DE
Titel (DE) VERFAHREN UND OPTISCHE ANORDNUNG ZUR UNTERSUCHUNG EINER PROBE
(EN) METHOD AND OPTICAL ASSEMBLY FOR ANALYSING A SAMPLE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF OPTIQUE POUR L'ANALYSE D'UN ÉCHANTILLON
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Untersuchung einer Probe (1). Die Probe (1) ist um eine Rotationsachse rotierbar und in alle drei Raumrichtungen verschiebbar gelagert. Sie wird über eine erste Beleuchtungseinrichtung mit einem Lichtblatt parallel zur Rotationsachse beleuchtet. Von der Probe (1) abgestrahltes Licht wird über ein Abbildungsobjektiv (7) mit einer optischen Achse, die die Ebene des Lichtblatts senkrecht schneidet, auf eine Detektierungseinrichtung als Schnittbild abgebildet. Es werden mehrere Schnittbilder der Probe bei verschiedenen Einstellungen des Rotationswinkels aufgenommen, für einen Teil der Schnittbilder wird die Probe (1) zwischen den Aufnahmen gedreht und/oder verschoben. Die aufgenommenen Schnittbilder werden registriert und zu einem ersten Datensatz von räumlichen Bilddaten der Probe (1) fusioniert. Bei einem solchen Verfahren wird die Probe (1) über eine zweite Beleuchtungseinrichtung senkrecht zur Rotationsachse beleuchtet, wobei das Abbildungsobjektiv (7) mindestens einen Teil der Probe (1) als Schattenbild auf die Detektierungseinrichtung projiziert, und wobei mehrere Schattenbilder der Probe (1) aufgenommen werden und mindestens für einen Teil der Schattenbilder die Probe (1) zwischen den Aufnahmen gedreht und/oder verschoben wird. Aus den aufgenommenen Schattenbildern wird mittels eines Rückprojektionsalgorithmus ein zweiter Datensatz von räumlichen Bilddaten der Probe (1) konstruiert.
(EN)The invention relates to a method and an assembly for analysing a sample (1). The sample (1) can be rotated about a rotational axis and is displaceably mounted in all three dimensions. The sample is illuminated with a light layer parallel to the rotational axis using a first illumination unit. Light emitted from the sample (1) is reproduced on a detection unit as a sectional image by means of an imaging lens (7) comprising an optical axis that perpendicularly intersects the plane of the light layer. Several sectional images of the sample are captured with different settings for the rotational angle, the sample (1) is rotated and/or shifted between shots for part of the sectional images. The captured sectional images are registered and merged to form a first data record of three-dimensional image data of the sample (1). In a method of this type, the sample (1) is illuminated perpendicularly to the rotational axis by means of a second illumination unit, the imaging lens (7) projecting at least part of the sample (1) as a shadow image onto the detection unit. Several shadow images of the sample (1) are captured and the sample is rotated and/or shifted between shots at least for part of the shadow images of the sample (1). A second data record of three-dimensional image data of the sample (1) is constructed from the captured shadow images using a back projection algorithm.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif pour l'analyse d'un échantillon (1). L'échantillon (1) peut pivoter autour d'un axe de rotation et est logé de façon mobile dans les trois directions spatiales. Il est éclairé par une première installation d'éclairage dotée d'un film lumineux, parallèlement à l'axe de rotation. La lumière émise depuis l'échantillon (1) est représentée sur une installation de détection sous la forme d'une vue en coupe, par un objectif de reproduction (7) doté d'un axe optique qui coupe perpendiculairement le plan du film lumineux. Plusieurs vues en coupe de l'échantillon sont prises avec différents réglages de l'angle de rotation et, pour une partie des vues en coupe, l'échantillon (1) est tourné et/ou déplacé entre les prises de vue. Les vues en coupe prises sont enregistrées et fusionnées avec un premier enregistrement de données d'images spatiales de l'échantillon (1). Selon un tel procédé, l'échantillon (1) est éclairé par une seconde installation d'éclairage, perpendiculairement à l'axe de rotation, l'objectif de reproduction (7) projetant au moins une partie de l'échantillon (1) sous forme d'ombre sur l'installation de détection, plusieurs ombres de l'échantillon (1) étant enregistrées et, au moins pour une partie des ombres, l'échantillon (1) est tourné et/ou déplacé entre les prises de vue. A partir des ombres prises, un second enregistrement de données d'images spatiales de l'échantillon (1) est effectué au moyen d'un algorithme de rétroprojection.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)