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1. (WO2009040157) SONDE UND VORRICHTUNG ZUM OPTISCHEN PRÜFEN VON OBERFLÄCHEN

Pub. No.:    WO/2009/040157    International Application No.:    PCT/EP2008/059692
Publication Date: 02.04.2009 International Filing Date: 24.07.2008
IPC: G01N 21/954
G02B 23/24
G01B 9/02
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
DRABAREK, Pawel
KOCHENDOERFER, Ralf
RYCHTARIK, David
Inventors: DRABAREK, Pawel
KOCHENDOERFER, Ralf
RYCHTARIK, David
Title: SONDE UND VORRICHTUNG ZUM OPTISCHEN PRÜFEN VON OBERFLÄCHEN
Abstract:
Es wird eineoptische Sonde (1) zum optischen Prüfen von Oberflächen (5) vorgeschlagen, wobei diese umfasst: einen Eingang (10) zur Einführung eines Eingangsstrahls in die Sonde (1), einen Ausgang (20) zur Beleuchtung der zu prüfenden Oberflächen (5), optische Elemente (8) zur Überführung des Eingangsstrahls in einen Messstrahl, der in einem Austrittswinkel α bezogen auf die Richtung (7) des Eingangsstrahls aus der Sonde (1) austritt, wobei ein Mittel (15) zur variablen Steuerung des Austrittswinkels α vorgesehen ist. Weiter wird eine Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Oberflächen (5) beschrieben, wobei in der Vorrichtung ein Interferometer mit der optischen Sonde (1) verbunden ist.