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1. (WO2009030390) VORRICHTUNG UND VERFAHREN FÜR DIE XUV-MIKROSKOPIE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2009/030390    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2008/006950
Veröffentlichungsdatum: 12.03.2009 Internationales Anmeldedatum: 25.08.2008
IPC:
G21K 7/00 (2006.01), G21K 1/06 (2006.01)
Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastrasse 27c, 80686 München (DE) (For All Designated States Except US).
RHEINISCH WESTFÄLISCHE TECHNISCHE HOCHSCHULE AACHEN [DE/DE]; Tempelgraben 55, Efeuhaus, 52056 Aachen (DE) (For All Designated States Except US).
JUSCHKIN, Larissa [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BERGMANN, Klaus [DE/DE]; (DE) (For US Only).
NEFF, Willi [DE/BE]; (BE) (For US Only)
Erfinder: JUSCHKIN, Larissa; (DE).
BERGMANN, Klaus; (DE).
NEFF, Willi; (BE)
Prioritätsdaten:
10 2007 041 939.4 04.09.2007 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN FÜR DIE XUV-MIKROSKOPIE
(EN) DEVICE AND METHOD FOR XUV MICROSCOPY
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR MICROSCOPIE XUV
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein optisches Abbildungssystem aufweisend eine erste Vergrößerungsstufe, mit der ein Zwischenbild zumindest eines Teilbereichs eines Objektes unter Erzielung einer ersten Vergrößerung mittels von dem Objekt ausgehender XUV-Strahlung erzeugbar ist, zumindest eine zweite Vergrößerungsstufe, sowie einen für XUV-Strahlung empfindlichen Detektor, wobei mit der zweiten Vergrößerungsstufe das Zwischenbild unter Erzielung einer zweiten Vergrößerung auf den Detektor abbildbar ist, und wobei die zweite Vergrößerungsstufe eine Zonenplatte umfasst.
(EN)The invention relates to an optical imaging system comprising a first magnification step, by means of which an intermediate image of at least one partial region of an object can be generated by means of XUV radiation emitted by the object while achieving a first magnification, at least a second magnification step and a detector which is sensitive to XUV radiation. According to the invention, the second magnification step ensures that the intermediate image can be projected onto the detector while achieving a second magnification, and the second magnification step comprises a zone plate.
(FR)La présente invention concerne un système d'imagerie optique, comprenant un premier étage d'agrandissement permettant d'obtenir l'image intermédiaire d'au moins une partie d'un objet après réalisation d'un premier agrandissement à partir du rayonnement XUV émis par l'objet, au moins un deuxième étage d'agrandissement, ainsi qu'un détecteur sensible au rayonnement XUV. En l'occurrence, le deuxième étage d'agrandissement, qui permet de produire l'image intermédiaire après réalisation d'un deuxième agrandissement sur le détecteur, comporte une lentille zonée.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)