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1. WO2008138688 - INTERFEROMETRISCHE MESSEINRICHTUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2008/138688
Veröffentlichungsdatum 20.11.2008
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2008/054153
Internationales Anmeldedatum 07.04.2008
IPC
G01B 9/02 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
9Instrumente wie in den Untergruppen aufgeführt und gekennzeichnet durch die Verwendung von optischen Messmitteln
02Interferometer
G01B 11/24 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
24zum Messen von Umrisslinien oder Krümmungen
G01B 11/30 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
30zum Messen der Rauheit oder der Unregelmäßigkeit von Oberflächen
G01N 21/47 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
17Systeme, in denen einfallendes Licht durch die Eigenschaften des untersuchten Materials beeinflusst wird
47Streuung, d.h. diffuse Reflexion
CPC
G01B 11/2441
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
2441using interferometry
G01B 9/02057
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02055characterised by error reduction techniques
02056Passive error reduction, i.e. not varying during measurement, e.g. by constructional details of optics
02057by using common path configuration, i.e. reference and object path almost entirely overlapping
G01B 9/02065
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02055characterised by error reduction techniques
02062Active error reduction, i.e. varying with time
02064by particular adjustment of coherence gate, i.e. adjusting position of zero path difference in low coherence interferometry
02065using a second interferometer before or after measuring interferometer
G01B 9/0209
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
0209Non-tomographic low coherence interferometers, e.g. low coherence interferometry, scanning white light interferometry, optical frequency domain interferometry or reflectometry
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE (AllExceptUS)
  • FLEISCHER, Matthias [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • DRABAREK, Pawel [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • KOCHENDOERFER, Ralf [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder
  • FLEISCHER, Matthias; DE
  • DRABAREK, Pawel; DE
  • KOCHENDOERFER, Ralf; DE
Gemeinsamer Vertreter
  • ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Prioritätsdaten
10 2007 022 217.511.05.2007DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) INTERFEROMETRISCHE MESSEINRICHTUNG
(EN) INTERFEROMETRIC MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE INTERFÉROMÉTRIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft eine Interferometrische Messeinrichtung zur Messung der Form, der Rauheit und/oder des Abstandes eines Messobjekts mit einem Modulationsinterferometer und einer Mess-Sonde, wobei in dem Modulationsinterferometer eine kurzkohärente Strahlungsquelle sowie ein erstes Reflektorelement und ein zweites Reflektorelement vorgesehen sind, die der Strahlung der kurzkohärenten Strahlungsquelle einen Gangunterschied aufprägen. Ist zwischen dem Modulationsinterferometer und der Mess-Sonde eine bildübertragende Lichtleiteranordnung angeordnet, kann durch diese Anordnung ein flächenhafter Bildaufnehmer in einer stationären Auswerteeinheit angeordnet sein und muss nicht in der Mess-Sonde angeordnet sein, wie dies beim Stand der Technik der Fall ist. Der Aufbau der Mess-Sonde kann daher kompakter und robuster als bisher ausgeführt sein.
(EN)
The invention relates to an interferometric measuring device for measuring the form, roughness and/or distance of a measuring object, said device comprising a modulation interferometer and a measuring probe, a short coherent radiation source, a first reflector element and a second reflector element being provided in the modulation interferometer, said elements impressing an optical path difference onto the radiation of the short coherent radiation source. If an optical fibre assembly for transferring images is positioned between the modulation interferometer and the measuring probe, a flat sensor can be located in a stationary evaluation unit and does not need to be located in the measuring probe, as is the case in prior art. The measuring probe can thus have a more compact and robust construction than was previously possible.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de mesure interférométrique servant à mesurer la forme, la rugosité et/ou l'éloignement d'un objet mesuré, ce dispositif comprenant un interféromètre à modulation et une sonde de mesure. Ledit interféromètre à modulation comprend une source de rayonnement à cohérence courte, ainsi qu'un premier et un deuxième élément réflecteur qui impriment une différence de chemin au rayonnement de la source de rayonnement à cohérence courte. Si un système de guidage de lumière transmettant des images est placé entre l'interféromètre à modulation et la sonde de mesure, un capteur d'images plat peut être placé dans une unité d'évaluation fixe et ne doit plus être disposé dans la sonde de mesure, comme tel était le cas selon l'art antérieur. La sonde de mesure peut ainsi présenter une structure plus compacte et plus robuste qu'auparavant.
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