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1. WO2008138502 - OPTISCHE POSITIONSMESSEINRICHTUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2008/138502
Veröffentlichungsdatum 20.11.2008
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2008/003553
Internationales Anmeldedatum 02.05.2008
IPC
G01D 5/347 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
DMessen, nicht besonders ausgebildet für eine spezielle Veränderliche; Einrichtungen oder Instrumente zum Messen von zwei oder mehr Veränderlichen, soweit nicht von einer anderen Unterklasse umfasst; Tarifmessgeräte; Übertragungs- oder Umwandlungseinrichtungen, die nicht für eine spezielle Veränderliche besonders ausgebildet sind; Messen oder Prüfen, soweit nicht anderweitig vorgesehen
5Mechanische Vorrichtungen zur Übertragung des Ausgangssignals eines Abtast-Elements; Einrichtungen zum Umformen des Ausgangssignals des Abtast-Elements in eine andere Veränderliche wobei die Art und Beschaffenheit des Abtast-Elements nicht die Mittel des Umformens bedingt; Messgrößenumwandler, die nicht für eine besondere Veränderliche ausgebildet sind
26unter Verwendung von optischen Mitteln, d.h. unter Verwendung von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht
32mit Abschwächung oder ganzer oder teilweiser Abdeckung von Lichtstrahlen
34Erfassen der Lichtstrahlen mit Fotozellen
347unter Verwendung codierter Verschiebungsanzeigen
G01B 11/00 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
CPC
G01B 11/002
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
002for measuring two or more coordinates
G01D 5/34723
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
5Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
26characterised by optical transfer means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
32with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
34the beams of light being detected by photocells
347using displacement encoding scales
34707Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
34715Scale reading or illumination devices
34723involving light-guides
Anmelder
  • DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH [DE/DE]; Dr.-Johannes-Heidenhain-Strasse 5 83301 Traunreut, DE (AllExceptUS)
  • HOLZAPFEL, Wolfgang [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder
  • HOLZAPFEL, Wolfgang; DE
Prioritätsdaten
10 2007 023 300.216.05.2007DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) OPTISCHE POSITIONSMESSEINRICHTUNG
(EN) OPTICAL POSITION MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE POSITION OPTIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Relativposition einer Abtasteinheit sowie einem hierzu in mindestens einer Messrichtung beweglichen Maßstab. Der M Maßstab ist als kombinierte Baueinheit ausgebildet, welche mindestens ein Reflektorelement sowie eine Messteilung umfasst. Der Abtasteinheit sind eine Lichtquelle sowie ein oder mehrere Detektorelemente zugeordnet. Die Abtasteinheit umfasst Aufspaltmittel, die das von der Lichtquelle emittierte Strahlenbündel in mindestens zwei Teilstrahlenbündel in Messrichtung aufspalten, die nach der Aufspaltung in Richtung des Maßstabs propagieren.
(EN)
The invention relates to an optical position measuring device for detecting the relative position of a scanning unit and a scale that can be moved in relation to the scanning unit in at least one measuring direction. The scale is a combined structural unit comprising at least one reflector element and a measurement graduation. A light source and at least one detector element are associated with the scanning unit. The scanning unit comprises splitting means which split the beam of rays emitted by the light source into at least two partial beams of rays in the measuring direction, said partial beams of rays then propagating towards the scale.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de mesure de position optique servant à détecter la position relative d'une unité de balayage ainsi que d'une échelle déplaçable par rapport à l'unité de balayage dans au moins une direction de mesure. L'échelle M est réalisée en tant qu'unité combinée qui comprend au moins un élément réflecteur ainsi qu'une graduation. Une source lumineuse ainsi qu'un ou plusieurs éléments détecteurs sont associés à l'unité de balayage. L'unité de balayage comprend des moyens de séparation qui séparent le faisceau de rayons émis par la source lumineuse en au moins deux sous-faisceaux dans la direction de mesure, ces sous-faisceaux se propageant en direction de l'échelle après leur séparation.
Auch veröffentlicht als
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