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1. WO2008138329 - VERFAHREN ZUM RASTERSONDENMIKROSKOPISCHEN UNTERSUCHEN EINER MESSPROBE, MESSSYSTEM UND MESSSONDENSYSTEM

Veröffentlichungsnummer WO/2008/138329
Veröffentlichungsdatum 20.11.2008
Internationales Aktenzeichen PCT/DE2008/000824
Internationales Anmeldedatum 16.05.2008
IPC
G01N 13/10 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
13Untersuchen von Oberflächen- und Grenzeffekten, z.B. Benetzungsvermögen; Untersuchen von Diffusionseffekten; Untersuchen von Stoffen durch die Bestimmung von Oberflächen-, Grenz- oder Diffusionseffekten
10Untersuchen oder Analysieren von Oberflächenstrukturen in atomaren Bereichen mit rastersondenmikroskopischen Methoden
G12B 21/02 2006.01
GPhysik
12Einzelheiten von Instrumenten
BKonstruktive Einzelheiten von Instrumenten oder vergleichbare Einzelheiten anderer Geräte, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21Einzelheiten von Geräten für rastersondenmikroskopische Methoden
02Sonden
CPC
G01Q 70/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
70General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
06Probe tip arrays
Anmelder
  • JPK INSTRUMENTS AG [DE/DE]; Bouchéstrasse 12 12435 Berlin, DE (AllExceptUS)
  • JAEHNKE, Torsten [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder
  • JAEHNKE, Torsten; DE
Vertreter
  • BITTNER, Thomas; Boehmert & Boehmert Hollerallee 32 28209 Bremen, DE
Prioritätsdaten
10 2007 023 435.116.05.2007DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUM RASTERSONDENMIKROSKOPISCHEN UNTERSUCHEN EINER MESSPROBE, MESSSYSTEM UND MESSSONDENSYSTEM
(EN) METHOD FOR EXAMINING A TEST SAMPLE USING A SCANNING PROBE MICROSCOPE, MEASUREMENT SYSTEM AND A MEASURING SENSOR SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ D'EXAMEN D'UN ÉCHANTILLON PAR MICROSCOPIE À SONDE LOCALE, SYSTÈME DE MESURE ET SYSTÈME DE SONDES DE MESURE
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum rastersondenmikroskopischen Untersuchen einer Meßprobe. Bei dem Verfahren werden eine erste und eine zweite rastersondenmikroskopische Messung an der Messprobe mit einem Messsondensystem, bei dem eine Messsonde und eine andere Messsonde an einer gemeinsamen Messsondenaufnahme gebildet sind, ausgeführt, wobei während der ersten Messung relativ zu der Messprobe die Messsonde in einer ersten Messstellung und die andere Messsonde in einer anderen Nicht-Messstellung gehalten werden und die Messprobe mit der Messsonde rastersondenmikroskopisch untersucht wird, nach der ersten Messung mittels Verlagern relativ zur Messprobe die Messsonde aus der Messstellung in eine Nicht-Messstellung und die andere Messsonde aus der anderen Nicht-Messstellung in eine andere Messstellung gebracht werden und während der zweiten Messung relativ zu der Messprobe die Messsonde in der Nicht-Messstellung und die andere Messsonde in der anderen Messstellung gehalten werden und die Messprobe mit der anderen Messsonde rastersondenmikroskopisch untersucht wird. Des weiteren betrifft die Erfindung ein Messsondensystem für ein Rastersondenmikroskop.
(EN)
The invention relates to a method and to a device for examining a test sample using a scanning probe microscope. According to the method, a first and a second measurement using a scanning probe microscope is carried out on the test sample using the measurement sensor system, in which a measurement sensor and another measurement sensor are embodied on a common measurement sensor receptacle. During the first measurement, in relation to the test sample, the measurement sensor is held in a first measurement position and the other measurement sensor is held in another non-measurement position, and the test sample is examined by a measurement sensor using a scanning probe microscope. After the first measurement, by displacing in relation to the test sample, the measurement sensor is displaced from the measurement position into a non-measurement position and the other measurement sensor is displaced from the other non-measurement position into another measurement position and during the second measurement, in relation to the test sample, the measurement sensor is held in the non-measurement position and the other measurement sensor is held in the other measurement position and the test sample is examined by the other measurement sensor using a scanning probe microscope. The invention also relates to a measuring sensor system of a scanning probe microscope.
(FR)
L'invention concerne un procédé et un dispositif d'examen par microscopie à sonde locale d'un échantillon. Selon ce procédé, une première et une deuxième mesure par microscopie à sonde locale sont effectuées sur l'échantillon à l'aide d'un système de sondes de mesure dans lequel une sonde de mesure et une autre sonde de mesure sont montées sur un logement de sondes de mesure commun. Lors de la première mesure, la sonde de mesure se trouve dans une première position de mesure par rapport à l'échantillon alors que l'autre sonde de mesure est maintenue dans une position ne permettant pas la mesure et l'échantillon est examiné par microscopie à sonde locale à l'aide de la sonde de mesure. Après la première mesure, on amène, par un décalage par rapport à l'échantillon, la sonde de mesure de la position de mesure dans une position ne permettant pas la mesure et l'autre sonde de mesure de l'autre position ne permettant pas la mesure dans une autre position de mesure. Pendant la deuxième mesure, la sonde de mesure est maintenue dans la position ne permettant pas la mesure et l'autre sonde de mesure dans l'autre position de mesure par rapport à l'échantillon et l'échantillon est examiné par microscopie à sonde locale à l'aide de l'autre sonde de mesure. L'invention concerne également un système de sondes de mesure pour un microscope à sonde locale.
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