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1. WO2008087048 - TESTEINRICHTUNG FÜR MIKROMECHANISCHE BAUELEMENTE

Veröffentlichungsnummer WO/2008/087048
Veröffentlichungsdatum 24.07.2008
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2008/000521
Internationales Anmeldedatum 16.01.2008
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen 17.11.2008
IPC
B81C 99/00 2010.01
BSektion B Arbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
CVerfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder Mikrostruktursystemen
99Sachverhalte, soweit nicht in anderen Gruppen dieser Unterklasse vorgesehen
CPC
B81C 99/005
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
99Subject matter not provided for in other groups of this subclass
0035Testing
005Test apparatus
Anmelder
  • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • KURTH, Steffen [DE]/[DE] (UsOnly)
  • BÖHME, Michael [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • KURTH, Steffen
  • BÖHME, Michael
Vertreter
  • PFENNING, MEINIG & PARTNER GBR
Prioritätsdaten
10 2007 002 373.316.01.2007DE
10 2007 016 735.203.04.2007DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) TESTEINRICHTUNG FÜR MIKROMECHANISCHE BAUELEMENTE
(EN) TEST DEVICE FOR MICRO-MECHANICAL COMPONENTS
(FR) DISPOSITIF D'ESSAI POUR COMPOSANTS MICROMÉCANIQUES
Zusammenfassung
(DE)
Es wird eine Testeinrichtung für mikromechanische Bauelemente vorgeschlagen, bei der mindestens ein ein bewegliches Teil aufweisendes mikromechanisches Bauelement auf einer Auflage angeordnet ist und eine Vorrichtung zum Hervorrufen einer Auslenkung bzw. von Schwingungen des beweglichen Teils und eine Vorrichtung zum Erfassen der Auslenkung bzw. von Schwingungen vorgesehen sind Die Vorrichtung zum Hervorrufen einer Auslenkung bzw. von Schwingungen weist Mittel zur Erzeugung eines elektrostatischen Feldes ggf. wechselnder Stärke auf, dem das bewegliche Teil des mikromechanischen Bauelementes ausgesetzt ist.
(EN)
The invention relates to a test device for micro-mechanical components in which at least one micro-mechanical component having a displaceable part is arranged on a support, and which comprises a device for provoking the displaceable part to deviate or vibrate, in addition to a device for detecting deviation or vibrations. Said device for provoking a deviation or vibrations comprises means for generating an electrostatic field, optionally, having alternating strengths, on which the displaceable part of the micromechanical component is placed.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'essai pour composants micromécaniques dans lequel au moins un composant micromécanique présentant une partie mobile est placé sur un support et qui comprend un dispositif servant à provoquer une déviation ou des vibrations de la partie mobile, ainsi qu'un dispositif servant à détecter la déviation ou les vibrations. Le dispositif provoquant la déviation ou les vibrations présente des moyens servant à générer un champ électrostatique, éventuellement d'intensité variable, auquel est soumis la partie mobile du composant micromécanique.
Auch veröffentlicht als
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten