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1. (WO2008080625) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERMITTLUNG DER AUSDEHNUNG DES QUERSCHNITTS EINES ELEKTRONENSTRAHLES
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Veröff.-Nr.: WO/2008/080625 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2007/011464
Veröffentlichungsdatum: 10.07.2008 Internationales Anmeldedatum: 28.12.2007
IPC:
H01J 35/14 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
35
Röntgenröhren
02
Einzelheiten
14
Anordnungen zum Bündeln, Fokussieren oder Richten des Kathodenstrahls
Anmelder:
YXLON INTERNATIONAL FEINFOCUS GMBH [DE/DE]; Im Bahlbrink 11-13 30827 Garbsen, DE (AllExceptUS)
REINHOLD, Alfred [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
REINHOLD, Alfred; DE
Vertreter:
DTS MÜNCHEN; St.-Anna-Strasse 15 80538 München, DE
Prioritätsdaten:
10 2006 062 550.129.12.2006DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERMITTLUNG DER AUSDEHNUNG DES QUERSCHNITTS EINES ELEKTRONENSTRAHLES
(EN) METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THE EXTENSION OF THE CROSS-SECTION OF AN ELECTRON BEAM
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE DÉTERMINATION DE L'EXTENSION DE LA SECTION TRANSVERSALE D'UN FAISCEAU ÉLECTRONIQUE
Zusammenfassung:
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ermittlung der Ausdehnung des Querschnitts (4) eines Elektronenstrahles (16) entlang einer zu seiner Strahlachse im wesentlichen senkrechten ersten Achse, bei dem der Elektronenstrahl mittels einer Ablenkeinrichtung (18) entlang der ersten Achse ablenkbar ist, bei dem ein Proportionalitätsfaktor zwischen einem Ablenkstrom der Ablenkeinrichtung und einem zugehörigen Ablenkweg des Elektronenstrahles entlang der ersten Achse in der Blendenebene einer Meßblende (24) ermittelt wird, bei dem der Elektronenstrahl so abgelenkt wird, daß das Zentrum seines Querschnittes mit einem Referenzpunkt in der Blendenebene der Meßblende zusammenfällt, bei dem der Elektronenstrahl ausgehend von dem Referenzpunkt entlang der ersten Achse so abgelenkt wird, daß er die Meßblende berührt, und der zugehörige Ablenkstrom der Ablenkeinrichtung gemessen wird und bei dem die Ausdehnung des Querschnitts des Elektronenstrahles entlang der ersten Achse ausgehend von dem ermittelten Proportionalitätsfaktor und dem gemessenen Ablenkstrom ermittelt wird.
(EN) The invention relates to a method for determining the extension of the cross-section (4) of an electron beam (16) along a first axis which is essentially perpendicular to the beam axis. According to said method: the electron beam can be deviated along the first axis by means of a deviation device (18); a proportionality factor between a deviation current of the deviation device and an associated deviation course of the electron beam along the first axis is determined in the diaphragm plane of a measuring diaphragm (24); the electron beam is deviated in such a way that the centre of the cross-section thereof coincides with a reference point in the diaphragm plane of the measuring diaphragm; the electron beam is deviated from the reference point along the first axis in such a way that it contacts the measuring diaphragm; the associated deviating current of the deviation device is measured; and the extension of the cross-section of the electron beam along the first axis is determined from the determined proportionality factor and the measured deviation current.
(FR) Procédé de détermination de l'extension de la section transversale (4) d'un faisceau électronique (16) le long d'un premier axe essentiellement perpendiculaire à son axe de faisceau. Selon ledit procédé, le faisceau électronique peut être dévié le long du premier axe à l'aide d'un dispositif de déviation (18), un facteur de proportionnalité entre un courant de déviation du dispositif de déviation et un trajet de déviation associé du faisceau électronique le long du premier axe est déterminé dans le plan d'un diaphragme de mesure (24), le faisceau électronique est dévié de manière telle que le centre de sa section transversale coïncide avec un point de référence situé dans le plan du diaphragme de mesure, le faisceau électronique est dévié à partir du point de référence le long du premier axe de manière telle qu'il touche le diaphragme de mesure et que le courant de déviation associé du dispositif de déviation est mesuré, et l'extension de la section transversale du faisceau électronique le long du premier axe est déterminée à partir du facteur de proportionnalité déterminé et du courant de déviation mesuré.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Auch veröffentlicht als:
EP2102883