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1. (WO2008080490) POSITIONSERKENNUNGSSYSTEM ZUR BERÜHRUNGSLOSEN INTERFEROMETRISCHEN DETEKTION DER ORTSPOSITION EINES ZIELOBJEKTES UND DAMIT AUSGESTATTETES ABTASTSYSTEM
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Veröff.-Nr.: WO/2008/080490 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2007/010541
Veröffentlichungsdatum: 10.07.2008 Internationales Anmeldedatum: 05.12.2007
IPC:
G01B 9/02 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
9
Instrumente wie in den Untergruppen aufgeführt und gekennzeichnet durch die Verwendung von optischen Messmitteln
02
Interferometer
Anmelder:
ISIS SENTRONICS GMBH [DE/DE]; Innstr. 28 68199 Mannheim, DE (AllExceptUS)
KNÜTTEL, Alexander [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
KNÜTTEL, Alexander; DE
Vertreter:
PFEIFER, Hans-Peter; Durm & Partner Moltkestr. 45 76133 Karlsruhe, DE
Prioritätsdaten:
07000003.902.01.2007EP
Titel (DE) POSITIONSERKENNUNGSSYSTEM ZUR BERÜHRUNGSLOSEN INTERFEROMETRISCHEN DETEKTION DER ORTSPOSITION EINES ZIELOBJEKTES UND DAMIT AUSGESTATTETES ABTASTSYSTEM
(EN) SYSTEM FOR THE DETECTION OF A POSITION FOR THE CONTACTLESS INTERFEROMETRIC DETECTION OF A LOCATION OF A TARGET OBJECT, AND SCANNING SYSTEM EQUIPPED WITH THE SAME
(FR) SYSTÈME DE RECONNAISSANCE DE POSITION POUR LA DÉTECTION SANS CONTACT PAR INTERFÉROMÉTRIE DE LA POSITION D'UN OBJET CIBLE, ET SYSTÈME DE BALAYAGE AINSI ÉQUIPÉ
Zusammenfassung:
(DE) Positionserkennungssystem zur berührungslosen interferometrischen Detektion der Ortsposition eines Zielobjektes. Eine Zielobjekteinheit (11) schliesst einen Referenzlichtsender (23) ein, der so ausgebildet ist, dass er einen Referenzlichtstrahl (25) mit gekrümmten Lichtwellenfronten (30) aussendet. Die Zielobjekteinheit schliesst mindestens ein Detektorarray (14) mit einer Mehrzahl von Detektorpixeln (31) ein, das so an der Zielobjekteinheit (11) befestigt ist, dass der Referenzlichtstrahl (25) des Referenzlichtsenders (23) darauf auftrifft.
(EN) The invention relates to a system for the detection of a position for the contactless interferometric detection of the location of a target object. A target object unit (11) comprises a reference light transmitter (23), which is configured such that it transmits a reference light beam (25) having curved light wave fronts (30). The target object unit comprises at least one detector array (14) having a plurality of detector pixels (31), which is fastened to the target object unit (11) such that the reference light beam (25) of the reference light transmitter (23) strikes the same.
(FR) Système de reconnaissance de position pour la détection sans contact par interférométrie de la position d'un objet cible. Une unité d'objet cible (11) comprend un émetteur de lumière de référence (23) qui est conçu de telle sorte qu'il émet un rayon lumineux de référence (25) ayant des fronts incurvés (30) d'ondes lumineuses. L'unité d'objet cible comprend au moins un réseau détecteur (14) doté d'une pluralité de pixels détecteurs (31) qui est fixé sur l'unité d'objet cible (11) de telle sorte que le rayon lumineux de référence (25) de l'émetteur de lumière de référence (23) rencontre ce réseau.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Auch veröffentlicht als:
JP2010515070US20100039653CN101595364CA2673480AU2007341691