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1. (WO2008077671) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ELEKTRISCHEN WIDERSTANDS AUF EINEM SUBSTRAT
Anmerkung: Text basiert auf automatischer optischer Zeichenerkennung (OCR). Verwenden Sie bitte aus rechtlichen Gründen die PDF-Version.

Beschreibung

Titel
Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Widerstands
auf einem Substrat

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Widerstands, insbesondere Stromfühlerwiderstands, auf einem Substrat, wobei ein Widerstandsrohling auf das Substrat aufgebracht und anschließend zur Bildung des Widerstands temperaturbehandelt wird.

Stand der Technik

Es ist bekannt, elektrische Widerstände, insbesondere Stromfühlerwiderstände, auf Substraten herzustellen. Dies erfolgt insbesondere in Dickschichttechnik und LTCC-Technik (LTCC = Iow temperature cofire ceramic). Hierzu werden Silberpalladium-Pasten im Siebdruckverfahren auf das Substrat aufgedruckt. Die Integration solcher insbesondere als Leiterbahnwiderstände ausgebildeten Widerstände mit typischen Widerstandswerten von zum Beispiel 100 mOhm und Temperaturkoeffizient-Werten von zum Beispiel 100 ppm/K erfordern hohe Prozessaufwendungen, wie zum Beispiel das Anschließen dieses Widerstandes mit hochsilberhaltigen, niederohmigen Leiterbahnen, gleichzeitig ist das Anbringen von Zwischenlegierungen (intermediates) erforderlich, was zusätzliche Aufdruckschritte und Temperaturbehandlungsschritte erfordert. Derartige Zusatzschritte sind oftmals aufgrund der Auslegung der Fertigungslinien gar nicht möglich. Die aufgedruckten Silberpalladiumpasten, die einen vorgemischten Widerstand darstellen, werden zur Fertigstellung des Widerstandes gebrannt, also temperaturbehandelt.

Offenbarung der Erfindung Aufgrund des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung eines elektrischen Widerstands, insbesondere Stromfühlerwiderstands, auf einem Substrat wird ein Widerstandsrohling auf das Substrat aufgebracht und anschließend zur Bildung des Widerstands temperaturbehandelt, wobei zur Bildung des Widerstandsrohlings eine Palladiumschicht auf das Substrat aufgebracht und anschließend auf die Palladiumschicht eine Silberschicht aufgebracht wird. Alternativ wird eine Silberschicht auf das Substrat und auf die Silberschicht eine Palladiumschicht aufgebracht. Danach erfolgt eine Temperaturbehandlung, sodass das Palladium der Palladiumschicht mit dem Silber der Silberschicht durchlegiert. Diese Legierung stellt dann den gewünschten Widerstand, insbesondere Stromfühlerwiderstand, dar. Die Herstellung dieses Widerstands erfolgt in einem so genannten cofire-Prozess, das heißt, in situ, also am Ort und während des Brennschrittes wird aus dem Widerstandsrohling der elektrische Widerstand gebildet. Damit besteht gegenüber dem bisherigen Verfahren ein entscheidender Unterschied, da sich aufgrund der Temperaturbehandlung eine den Widerstand bildende Legierung bildet, und zwar aufgrund der Durchlegierung getrennter Schichten, während im Stand der Technik vor dem Brennprozess fertig gestellte Silberpalladiumpaste verwendet wird, die nach dem insbesondere per Siebdruck erfolgenden Aufbringen gebrannt wird. Die Einstellung der Parameter des Widerstandes erfolgt durch eine entsprechend gewählte Menge an Palladium relativ zur Silbermenge. Auf diese Art und Weise lässt sich sowohl der Wider-standswert als auch der Temperaturkoeffizient (TK-Wert) in gewünschter Weise einstellen. Bei dem Temperaturkoeffizienten handelt es sich um eine Angabe, um wie viel Ohm sich jedes Ohm des Widerstandes pro 0K ändert. Aufgrund des erfindungsgemäßen Vorgehens treten keine Diffusionszonen, insbesondere beim Kontaktieren von angrenzenden Anschlusszonen, auf und es ist ferner sichergestellt, dass sich keine Kirkendall-Hohlräume (Kirkendall-Voids) bilden. Derartige Diffusionszonen mit Voidbildungen führen zu Zuverlässigkeitsproblemen aufgrund von Driften oder gar Leiterbahnabrissen. Von besonderer Bedeutung ist, dass das Palladium separat aufgebracht und - zusammen mit dem Silber - der Widerstandswert durch Legierungsbildung im cofire-Prozess eingestellt wird. Im Gegensatz dazu wird üblicherweise eine fertig gemischte Silberpal-ladiumpaste verwendet, die mit Zusatzschritten, wie Drucken und Brennen, aufgebracht wird und über zusätzlich aufgebrachte Zwischenlegierungen an den Anschlusszonen kontaktiert werden.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Aufbringen der PaIIa-diumschicht und/oder der Silberschicht im Druckverfahren erfolgt. Insbesondere wird das Druckverfahren als Siebdruckverfahren durchgeführt. Mithin wird im Siebdruckverfahren zunächst die Palladiumschicht und darauf die Silberschicht aufgebracht.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn die Silberschicht die Palladiumschicht zur Ausbildung von elektrischen Anschlusszonen seitlich überragt. Mithin bildet sich die Legierung nur im Überlappungsbereich von Silber und Palladium und die überragenden Silberschichtabschnitte können zur Ausbildung von elektrischen Anschlusszonen genutzt werden, die vorzugsweise mit Silber-Durchkontaktierungen des Substrats verbunden werden.

Ferner ist von Vorteil, wenn auf den Widerstandsrohling eine Abdeckglasschicht aufgebracht wird. Diese wird vorzugsweise aufgedruckt, insbesondere per Siebdruck, wobei die Abdeckglasschicht vor der Temperaturbehandlung aufgebracht wird. Es handelt sich dabei also zunächst um noch nicht gebranntes Glas, das durch die Temperaturbehandlung dann gebrannt wird. Die Abdeckglasschicht schützt den elektrischen Widerstand.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Palladiumschicht unter zumindest bereichsweise erfolgender Zwischenschaltung eines Haftvermittlers auf das Substrat aufgebracht wird. In einem solchen Falle befindet sich also die Palladiumschicht auf dem Substrat, das heißt, nicht unmittelbar, sondern unter Zwischenschaltung des Haftvermittlers, sodass die Palladiumschicht sicher auf dem Substrat gehalten wird. Anschließend wird die Palladiumschicht dann mit der Silberschicht versehen.

Es ist vorteilhaft, wenn die Schichten als Leiterbahnschichten ausgebildet werden. Demzufolge handelt es sich um Strukturen, die leiterbahnähnlich ausgebildet sind, das heißt ein Leiterbahnabschnitt bildet den erwähnten elektrischen Widerstand, insbesondere Stromfühlerwiderstand. Auch die Abdeckglasschicht kann leiterbahnähnlich ausgebildet sein, was nicht bedeutet, dass eine elektrische Leitfähigkeit bei der Abdeckglasschicht vorliegt, sondern dass die Abdeckglasschicht die Formgebung einer Leiterbahn besitzt.

Es ist ferner vorteilhaft, wenn der Haftvermittler ebenfalls durch einen Druckprozess, insbesondere durch einen Siebdruckprozess, aufgebracht wird.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn das Verfahren in Dickschichttechnik erfolgt.

Als Substrat kann insbesondere ein Keramiksubstrat verwendet werden, wobei es sich insbesondere um LTCC-Keramik handeln kann, also um Iow temperature cofired cera-mic. Das Keramiksubstrat kann mittels mehrerer, aufeinander geschichteter Keramikfolien ausgebildet werden. Zwischen den Keramikfolien befinden sich vorzugsweise Lei-terbahnschichten, sodass eine mehrlagige Leiterbahnstruktur entsteht.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die elektrischen Anschlusszonen als Durchkontaktierungen, insbesondere Silberdurchkontaktierungen (Silber- Via) ausgebildet werden.

Schließlich betrifft die Erfindung ein Substrat mit einem elektrischen Widerstand, insbesondere Stromfühlerwiderstand, wobei die Herstellung gemäß dem vorstehend erwähnten Verfahren erfolgt.

Kurze Beschreibung der Zeichnung

Die Zeichnung veranschaulicht die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels, und zwar zeigt die Figur einen Querschnitt durch ein mit elektrischen Widerstand, insbesondere Stromfühlerwiderstand, versehenes Substrat.

Ausführungsform der Erfindung

Die Figur zeigt ein Substrat 1 aus elektrisch isolierendem Material, auf dessen Oberseite 2 ein elektrischer Widerstand 3, insbesondere ein Stromfühlerwiderstand 4, angeordnet ist. In der Figur ist der Widerstand 3 noch als Widerstandsrohling 5 gezeigt, der durch einen Verarbeitungsschritt - wie nachstehend angeführt - in den Widerstand 3 überführt wird. Der Begriff „Stromfühlerwiderstand" bedeutet, dass mittels dieses Widerstandes ein Stromfluss erfasst wird, sodass eine Aussage über das Fließen dieses Stromes getroffen werden kann.

Das Substrat 1 ist mehrlagig ausgebildet, das heißt, es weist mehrere Schichten 6 auf, zwischen denen Leiterbahnen 7 angeordnet sind. Die Leiterbahnen 7 können mittels Durchkontaktierungen 8 miteinander elektrisch verbunden sein. Die Durchkontaktierungen 8 sind vorzugsweise als Silberdurchkontaktierungen 9 ausgebildet. Das Substrat 1 ist vorzugsweise als Keramiksubstrat ausgebildet, wobei die einzelnen Schichten 6 von Keramikfolien gebildet sind.

Um zwischen den Silberkontaktierungen 9' und 9" den Widerstand 3 auszubilden, wird zunächst auf die Oberseite 2 des Substrats ein Haftvermittler 10, insbesondere ein Palladium-Haftvermittler 11, aufgebracht. Das Aufbringen erfolgt vorzugsweise mittels Siebdruckverfahren. Über den Haftvermittler 10 wird dann eine Palladiumschicht 12 in Form einer Leiterbahn aufgebracht, insbesondere aufgedruckt, vorzugsweise mittels Siebdruckverfahren. Der Palladium- Haftvermittler 11 sorgt dafür, dass die Palladium-schicht 12 hinreichend fest mit der Oberseite 2 des Substrats 2 verbunden ist. Anschließend wird über die Palladiumschicht 12 eine Silberschicht 13 aufgebracht, insbesondere aufgedruckt, vorzugsweise nach dem Siebdruckverfahren. Dabei wird ebenfalls eine Struktur entsprechend einer Leiterbahn erzeugt, derart, dass die beiden Silberdurchkon-taktierungen 9' und 9" miteinander verbunden werden. Die Palladiumschicht 12 ist kür-zer als die Silberschicht 13, das heißt, die Silberschicht 13 überragt seitlich die Palladiumschicht, um zu den Silberdurchkontaktierungen 9' und 9" elektrische Anschlusszonen 14 auszubilden.

Nach den vorstehend erwähnten Arbeitsschritten wird mittels eines Einbrennprozesses, also in einem gemeinsamen Brennschritt, zusammen mit dem als Mehrlagenkeramik ausgebildeten Substrat der Widerstand 3 eingebrannt, das heißt, das Palladium der Palladiumschicht 12 wird mit dem Silber der Silberschicht 13 durchlegiert. Je nach gewählter Palladiummenge werden die gewünschten Zielwerte im Hinblick auf den spezifischen Widerstand und/oder den Temperaturkoeffizienten des Widerstands 3 eingestellt.

Zusätzlich ist es möglich, dass vor dem Brennschritt über die Silberschicht 13 eine Abdeckglasschicht aufgebracht wird, die - nach dem Brennschritt - eine Schutzschicht für den Widerstand 3 bildet.

Wie sich aus dem Vorstehenden ergibt, wird durch das separate Anbringen von Palladium und Silber eine Einstellung des Widerstandswerts entsprechend der gewählten Mengen vorbereitet und durch die anschließende Legierungsbildung im cofire-Prozess der Widerstand 3, insbesondere der Stromführungswiderstand 4, ausgebildet, wobei insbesondere gleichzeitig die Anschlusszonen 4 erzeugt und mit entsprechenden Ge- genelementen, beispielsweise Silberdurchkontaktieren 9' und 9", elektrisch verbunden werden.