WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Suche
 
Durchsuchen
 
Übersetzen
 
Optionen
 
Aktuelles
 
Einloggen
 
Hilfe
 
Maschinelle Übersetzungsfunktion
1. (WO2008020006) VERSTELLEINRICHTUNG MIT HOHER POSITIONSAUFLÖSUNG, AUCH IM NANO- ODER SUBNANOMETERBEREICH
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2008/020006    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2007/058359
Veröffentlichungsdatum: 21.02.2008 Internationales Anmeldedatum: 13.08.2007
IPC:
H01L 41/09 (2006.01)
Anmelder: PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. KG [DE/DE]; Auf der Römerstrasse 1, 76228 Karlsruhe (DE) (For All Designated States Except US).
MARTH, Harry [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LIANG, Rong [CN/DE]; (DE) (For US Only).
PERTSCH, Patrick [DE/DE]; (DE) (For All Designated States Except US)
Erfinder: MARTH, Harry; (DE).
LIANG, Rong; (DE)
Vertreter: KRUSPIG, Volkmar; Meissner, Bolte & Partner, Postfach 86 06 24, 81633 München (DE)
Prioritätsdaten:
10 2006 038 011.8 14.08.2006 DE
10 2006 044 285.7 20.09.2006 DE
Titel (DE) VERSTELLEINRICHTUNG MIT HOHER POSITIONSAUFLÖSUNG, AUCH IM NANO- ODER SUBNANOMETERBEREICH
(EN) ADJUSTING DEVICE WITH HIGH POSITION RESOLUTION, EVEN IN THE NANO- OR SUBNANOMETER RANGE
(FR) DISPOSITIF D'AJUSTEMENT AVEC UNE HAUTE RÉSOLUTION DE POSITION, Y COMPRIS DANS LES PLAGES NANOMÉTRIQUE ET SUBNANOMÉTRIQUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Verstelleinrichtung mit hoher Positionsauflösung, auch im Nano- oder Subnanometerbereich und einem Stellweg von wenigen Mikrometern bis einigen hundert Millimetern, wobei für die Hauptstellrichtungen im geschlossenen Regelkreis betriebene PZT-Festkörperaktoren (3) eingesetzt sind, deren jeweilige Position mittels hochauflösender Sensoren bestimmbar ist und weiterhin die PZT-Festkörperaktoren über Gelenke mit einer Plattform (2) in Verbindung stehen. Erfindungsgemäß sind zur Kompensation von senkrecht zur jeweiligen Stellrichtung auftretenden Positionsfehlern zusätzliche Aktoren (5) auf der Basis piezoelektrischer Einkristalle vorgesehen, welche gemäß den in einer Fehlertabelle gespeicherten Werten angesteuert werden, wobei der jeweilige Steuerwert sich als eine Funktion der Hauptstellachsen, jedoch mit umgekehrten Vorzeichen ergibt und die zusätzlichen Aktoren über eine Korrekturplatte (4) mit der Verstelleinrichtungs-Plattform verbunden sind.
(EN)The invention relates to an adjusting device with high position resolution, even in the nano- or subnanometer range and a regulating distance of a few micrometers up to several hundred millimeters, wherein PZT-solid state actuators in a closed-loop control circuit are used for the main control direction, the positions thereof being determined by high resolution sensors and the PZT-solid state actuators are in connection with a platform (2) via joints. For the compensation of position errors occurring perpendicular to the individual position, additional actuators (5) on the basis of piezoelectric single crystals are intended according to the invention. The single crystals are actuated according to stored values in an error table, wherein the respective control value results as a function of the main control axis, however with reversed gradient signs, and the additional actuators are connected to the adjusting device platform by a correcting plate (4).
(FR)L'invention concerne un dispositif d'ajustement avec une haute résolution de position, y compris dans les plages nanométrique et subnanométrique, et avec une course de réglage de quelques micromètres à quelques centaines de millimètres, dans lequel on utilise pour les directions de réglage principales des actuateurs à solide PZT (3) fonctionnant en boucle de régulation fermée, dont la position respective peut être déterminée au moyen de capteurs à haute résolution et dans lequel en outre les actuateurs à solide PZT se trouvent reliés à une plate-forme (2) par des articulations. Selon l'invention, il est prévu des actuateurs supplémentaires (5) à base de monocristaux piézoélectriques pour la compensation de défauts de position se produisant perpendiculairement à la direction d'ajustement respective, lesquels sont commandés d'après les valeurs enregistrées dans un tableau d'erreurs, la valeur de commande respective se déduisant comme une fonction des axes de réglage principaux, toutefois avec le signe opposé, et les actuateurs supplémentaires étant reliés à la plate-forme du dispositif d'ajustement par une plaque de correction (4).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)