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1. (WO2008019679) VORRICHTUNG UND EIN VERFAHREN ZUM SONDENMIKROSKOPISCHEN UNTERSUCHEN EINER PROBE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2008/019679    Internationale Anmeldenummer    PCT/DE2007/001468
Veröffentlichungsdatum: 21.02.2008 Internationales Anmeldedatum: 20.08.2007
IPC:
G02B 21/08 (2006.01), G01Q 30/02 (2010.01)
Anmelder: JPK INSTRUMENTS AG [DE/DE]; Bouchéstrasse 12, 12435 Berlin (DE) (For All Designated States Except US).
SOMMER, Gunnar [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KAMPS, Jörn [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: SOMMER, Gunnar; (DE).
KAMPS, Jörn; (DE)
Vertreter: BITTNER, Thomas, L.; Boehmert & Boehmert, Hollerallee 32, 28209 Bremen (DE)
Prioritätsdaten:
10 2006 039 149.7 18.08.2006 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG UND EIN VERFAHREN ZUM SONDENMIKROSKOPISCHEN UNTERSUCHEN EINER PROBE
(EN) APPARATUS AND A METHOD FOR EXAMINING A SPECIMEN WITH A PROBE MICROSCOPE
(FR) Dispositif et procédé d'examen par sonde microscopique d'un échantillon
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe, insbesondere zum rastersondenmikroskopischen Untersuchen. Die Vorrichtung umfasst eine Sondemikroskopeinrichtung, welche eine Probenaufnahme zum Aufnehmen einer zu untersuchenden Probe, eine Messsonde und eine Verlagerungseinheit aufweist, die konfiguriert ist, für eine sondenmikroskopische Untersuchung der Probe die Probenaufnahme und die Messsonde relativ zueinander zu verlagern, und eine Kondensorbeleuchtung sowie ein der Kondensorbeleuchtung nachgelagertes optisches System, welches konfiguriert ist, von der Kondensorbeleuchtung in einen Kondensorlichtweg abgegebenes Kondensorlicht unter wenigstens teilweiser Aufrechterhaltung von Kondensorlichtparametern, mit denen das Kondensorlicht von der Kondensorbeleuchtung abgegeben wird, in den Bereich der Probenaufnahme für eine optische Mikroskopie der zu untersuchenden Probe abzubilden.
(EN)The invention relates to an apparatus and to a method for examining a specimen with a probe microscope, in particular with a scanning probe microscope. The apparatus comprises a probe-microscope device having a specimen holder for holding a specimen to be examined, a measuring probe and a displacement unit which is configured for displacing the specimen holder and the measuring probe relative to one another for a probe-microscopy examination of the specimen, and a condenser illumination and an optical system which is arranged downstream of the condenser illumination and is configured for projecting condenser light, which is emitted into a condenser light path by the condenser illumination, into the region of the specimen holder for optical microscopy of the specimen to be examined, while maintaining, at least partially, condenser light parameters with which the condenser light is emitted by the condenser illumination.
(FR)L'invention concerne un dispositif et un procédé d'examen par sonde microscopique d'un échantillon, notamment pour des examens par sonde microscopique à balayage. Le dispositif comprend un dispositif à sonde microscopique qui présente un logement à échantillon destiné à recevoir un échantillon à examiner, une sonde de mesure et une unité de déplacement qui est configurée pour déplacer le logement à échantillon et la sonde de mesure l'un par rapport à l'autre en vue d'un examen par sonde microscopique, et un éclairage à condenseur ainsi qu'un système optique disposé à la suite de l'éclairage à condenseur qui est configuré pour représenter la lumière de condenseur, délivrée par l'éclairage à condenseur dans un trajet de lumière de condenseur, en conservant au moins partiellement les paramètres de lumière de condenseur avec lesquels la lumière de condenseur a été émise par l'éclairage à condenseur, dans la zone du logement à échantillon en vue d'une microscopie optique de l'échantillon à examiner.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)