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1. (WO2008017090) MINIATUR-BESCHLEUNIGUNGSSENSOR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2008/017090    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/AT2007/000380
Veröffentlichungsdatum: 14.02.2008 Internationales Anmeldedatum: 06.08.2007
IPC:
G01P 15/105 (2006.01)
Anmelder: AUSTRIAN RESEARCH CENTERS GMBH - ARC [AT/AT]; Donau-City-Strasse 1 A-1220 Wien (AT) (For All Designated States Except US).
BRÜCKL, Hubert [AT/AT]; (AT) (For US Only).
KAST, Michael [AT/AT]; (AT) (For US Only)
Erfinder: BRÜCKL, Hubert; (AT).
KAST, Michael; (AT)
Vertreter: WILDHACK, Helmut; Landstrasser Hauptstrasse 50, A-1030 Wien (AT)
Prioritätsdaten:
A 1317/2006 07.08.2006 AT
Titel (DE) MINIATUR-BESCHLEUNIGUNGSSENSOR
(EN) MINIATURE ACCELERATION SENSOR
(FR) CAPTEUR D'ACCÉLÉRATION MINIATURISÉ
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft einen Miniatur-Sensor zur Erfassung von Beschleunigungs- und Verzögerungsvorgängen, der dadurch gekennzeichnet ist, - dass er mindestens ein stabartiges Federelement umfasst, welches durch einen mit einem Ende (21) mit dem Detektorsubstrat (5) verbundenen und demselben entragenden Nanodraht (2), gebildet ist, welcher vorzugsweise an seinem freien Ende (21), eine ein permanentes Streumagnetfeld (ms) aussendende Beschichtung (3') oder ein derartiges Nanoteilchen (3) trägt, wobei der Nanodraht und Streumagnetfeldbeschichtung, bzw. -masse gemeinsam die träge Masse bilden, und - dass zumindest im Nahbereich des gebundenen Endes (21) des Nanodrahts (2) eine Magnetfelddetektionsschicht (4), z.B. aus einem magnetoresistiven Material, angeordnet ist, - wobei bevorzugter Weise das Substrat mit einer solchen Schicht versehen ist, welche bevorzugterweise ihrerseits als Sensorkomponente selbst einen Bestandteil, einer Magnetfeld-Detektionseinheit (7) bildet.
(EN)The invention relates to a miniature sensor for detecting acceleration and deceleration processes, which is characterized - in that it comprises at least one bar-like spring element which is formed by a nanowire (2), which is connected by one end (21) to the detector substrate (5) and projects from the latter and which preferably carries at it free end (22) a coating (3') emitting a permanent magnetic stray field (ms), or a nanoparticle (3) of this type, wherein the nanowire and magnetic stray field coating, or mass, together form the inertial mass, and - in that a magnetic field detection layer (4), e.g. composed of magnetoresistive material, is arranged at least in the region near the connected end (21) of the nanowire (2), - wherein the substrate is preferably provided with such a layer which preferably, for its part, as sensor component forms a constituent part of a magnetic field detection unit (7).
(FR)L'invention concerne un capteur miniaturisé pour le calcul des processus d'accélération et de décélération qui est caractérisé - en ce qu'il comprend au moins un élément à ressort en forme de baguette qui est constitué d'un nanofil (2) qui est relié par une extrémité (21) au substrat du détecteur (5) et introduit dans ce dernier, ledit nanofil comportant à son extrémité libre (21) un revêtement (3') émettant un champ magnétique de dispersion (ms) permanent ou une telle nanoparticule (3), le nanofil et le revêtement et/ou la masse à champ magnétique de dispersion constituant la masse inerte, et - en ce qu'une couche de détection de champ magnétique (4), par ex. en un matériau magnétorésistif, est appliquée au moins à proximité de l'extrémité liée (21) du nanofil (2). Le substrat est de préférence équipé d'une telle couche qui de son côté constitue un composant d'une unité de détection de champ magnétique (7) comme composant même du capteur.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)