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1. (WO2008015044) DREHRATENSENSOR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2008/015044    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2007/055597
Veröffentlichungsdatum: 07.02.2008 Internationales Anmeldedatum: 06.06.2007
IPC:
G01C 19/56 (2012.01)
Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
HAUER, Joerg [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GOMEZ, Udo-Martin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
NEUL, Reinhard [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KEHR, Kersten [DE/DE]; (DE) (For US Only).
CLASSEN, Johannes [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FRANKE, Axel [DE/DE]; (DE) (For US Only).
QUANDER, Marco [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: HAUER, Joerg; (DE).
GOMEZ, Udo-Martin; (DE).
NEUL, Reinhard; (DE).
KEHR, Kersten; (DE).
CLASSEN, Johannes; (DE).
FRANKE, Axel; (DE).
QUANDER, Marco; (DE)
Allgemeiner
Vertreter:
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart (DE)
Prioritätsdaten:
10 2006 035 281.5 31.07.2006 DE
102006047135.0 05.10.2006 DE
Titel (DE) DREHRATENSENSOR
(EN) ROTATION-RATE SENSOR
(FR) Capteur de vitesse de rotation
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem Antriebsmassenelement (13), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (18) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist, einem Erfassungsmassenelement (14), das entlang einer zweiten Achse (z), die senkrecht zur Oberfläche verläuft, unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Erfassungseinrichtung, durch welche die Auslenkung des Erfassungsmassen- Elements (14) entlang der zweiten Achse (z) erfaßbar ist. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehra tensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.
(EN)The present invention relates to a rotation-rate sensor having a drive mass element (13) which is arranged above a surface of a substrate and can be caused to oscillate by means of a drive device (18) along a first axis (y) which runs along the surface, having a detection mass element (14) which can be deflected under the influence of Coriolis force along a second axis (z) which runs at right angles to the surface, and having a detection device which can detect the deflection of the detection mass element (14) along the second axis (z). The arrangement of the second axis (z) at right angles to the surface allows the rotation-rate sensor to be integrated on a chip together with further rotation-rate sensors which are suitable for detection of rotations about rotation axes in other directions.
(FR)La présente invention concerne un capteur de vitesse de rotation comprenant un élément (13) à masse d'entraînement qui est disposé au-dessus d'une surface d'un substrat et peut être mis en vibration par un dispositif (18) d'entraînement le long d'un premier axe (y) qui s'étend le long de la surface, comprenant un élément (14) à masse de détection qui peut être dévié sous l'effet d'une force de Coriolis le long d'un deuxième axe (z) qui s'étend perpendiculairement à la surface, et un dispositif de détection par le biais duquel peut être détectée la déviation de l'élément (14) à masse de détection le long du deuxième axe (z). La disposition du deuxième axe (z) perpendiculairement à la surface permet d'intégrer le capteur de vitesse de rotation dans une puce électronique, conjointement avec d'autres capteurs de vitesse de rotation qui sont conçus pour détecter des rotations autour d'axes de rotation dirigés dans d'autres directions.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)