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1. (WO2008009619) VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN ELEKTRISCH ISOLIERENDER SCHICHTEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2008/009619    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2007/057179
Veröffentlichungsdatum: 24.01.2008 Internationales Anmeldedatum: 12.07.2007
IPC:
C23C 14/32 (2006.01), C23C 14/08 (2006.01)
Anmelder: OERLIKON TRADING AG, TRÜBBACH [CH/CH]; c/o OC Oerlikon Balzers AG, Hauptstrasse, CH-9477 Trübbach (CH) (For All Designated States Except US).
RAMM, Jürgen [DE/CH]; (CH) (For US Only).
WIDRIG, Beno [CH/CH]; (CH) (For US Only).
WOHLRAB, Christian [AT/AT]; (AT) (For US Only)
Erfinder: RAMM, Jürgen; (CH).
WIDRIG, Beno; (CH).
WOHLRAB, Christian; (AT)
Vertreter: TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG; Dr. Jacques Troesch, Schwaentenmos 14, CH-8126 Zumikon (CH)
Prioritätsdaten:
01166/06 19.07.2006 CH
Titel (DE) VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN ELEKTRISCH ISOLIERENDER SCHICHTEN
(EN) METHOD FOR DEPOSITING ELECTRICALLY INSULATING LAYERS
(FR) PROCÉDÉ POUR LE DÉPÔT DE COUCHES ÉLECTRIQUEMENT ISOLANTES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Verfahren zur Herstellung schlecht leitender, insbesondere isolierender Schichten auf zumindest einem Werkstück mittels Vakuumbeschichtung, wobei eine elektrische Bogenentladung zwischen mindestens einer Anode und einer Kathode einer Arcquelle, in reaktivgashaltiger Atmosphäre betrieben wird und an der Oberfläche eines mit der Kathode elektrisch verbundenen Targets kein oder nur ein kleines, im Wesentlichen zur Targetoberfläche senkrechtes, äusseres Magnetfeld zur Unterstützung des Verdampfungsprozesses erzeugt wird, wobei der Wiederbeschichtungsgrad der Oberfläche durch andere Beschichtungsquellen kleiner 10 % ist, bzw. das Magnetfeld mit einem Magnetsystem, das zumindest eine axial gepolten Spule mit einer dem Targetumfang ähnlichen Geometrie umfasst, erzeugt wird.
(EN)Method for producing layers of low conductivity, especially insulating layers, on at least one workpiece by vacuum coating, wherein an electrical arc discharge is operated between at least one anode and one cathode of an arc source in an atmosphere containing reactive gas, and only a small external magnetic field or none at all is produced at the surface of a target electrically connected to the cathode essentially perpendicular to the target surface to assist the vaporization process, the degree of recoating of the surface by other coating sources being less than 10%, and the magnetic field is generated by a magnet system that comprises at least one axially polarized coil with a geometry similar in size to the target.
(FR)Procédé de préparation de couches mauvaises conductrices, en particulier isolantes, sur au moins un outil, par revêtement sous vide. Une décharge en arc entre au moins une anode et une cathode d'une source d'arc est réalisée dans une atmosphère contenant un gaz réactif, et aucun ou seulement un petit champ magnétique extérieur, essentiellement perpendiculaire à la surface de la cible, est produit pour l'appui du processus de vaporisation, sur la surface d'une cible reliée électriquement à la cathode. Le taux de nouveau revêtement de la surface par d'autres sources de revêtement est inférieur à 10 %, et respectivement le champ magnétique est produit avec un système d'aimant, qui comprend au moins une bobine polarisée axialement avec une géométrie similaire aux contours de la cible.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)