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1. (WO2008009452) VORRICHTUNG ZUM REINIGEN EINES FLACHEN GEGENSTANDS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2008/009452    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2007/006433
Veröffentlichungsdatum: 24.01.2008 Internationales Anmeldedatum: 19.07.2007
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    01.10.2008    
IPC:
B08B 5/02 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Anmelder: IC-AUTOMATION GMBH [DE/DE]; Wilhelm-Theodor-Römheld-Strasse 32-34, 55130 Mainz (DE) (For All Designated States Except US).
FRIESENECKER, Andreas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BECKER, Stefan [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: FRIESENECKER, Andreas; (DE).
BECKER, Stefan; (DE)
Vertreter: KAMPFENKEL, Klaus; Blumbach Zinngrebe, Alexandrastr. 5, 65187 Wiesbaden (DE)
Prioritätsdaten:
10 2006 034 309.3 21.07.2006 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG ZUM REINIGEN EINES FLACHEN GEGENSTANDS
(EN) DEVICE FOR CLEANING A FLAT OBJECT
(FR) SYSTÈME POUR NETTOYER UN OBJET PLAT
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft einen Waferreiniger (10), der ohne bewegliche Teile zum Reinigen der Oberfläche eines Wafers (70) auskommt. Hierzu sind oberhalb einer Aufnahmeeinrichtung (60) mehrere hintereinander angeordnete Druckluftröhren (20 bis 36) angesetzt, die nacheinander derart mit Druckluft beaufschlagt werden, dass ein Druckluftvorhang (40) erzeugt wird, der über die Oberfläche des Wafers (70) wandert und somit Staub- und/oder Schmutzpartikel zu einer Absaugeinrichtung (90) schiebt, die die Staub- und/oder Schmutzpartikel absaugt.
(EN)The invention relates to a wafer cleaner (10) that, without any movable parts, can clean the surface of a wafer (70). For that purpose, a plurality of pressurised air pipes (20 to 36) arranged one after the other are mounted over a receiving system (60) and pressurised air is applied consecutively to the air pipes in such a way that a pressurised air curtain (40) is generated and wanders over the surface of the wafer (70), thus pushing dust and/or dirt particles to an aspirating device (90) that aspirates the dust and/or dirt particles.
(FR)L'invention concerne un nettoyeur de plaquettes (10) qui peut nettoyer la surface d'une plaquette (70) sans utilisation de pièces mobiles. À cet effet, le système selon l'invention comprend un support (60) au-dessus duquel sont placés plusieurs tubes à air comprimé (20 à 36) successifs qui sont alimentés successivement en air comprimé de façon à produire un rideau d'air comprimé (40) qui se déplace sur la surface de la plaquette (70) et pousse ainsi les particules de poussière et/ou de saleté jusqu'à un dispositif d'aspiration (90) qui aspire lesdites particules.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)