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1. (WO2008006569) ANORDNUNG ZUR ERZEUGUNG ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DER ANORDNUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2008/006569    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2007/006163
Veröffentlichungsdatum: 17.01.2008 Internationales Anmeldedatum: 11.07.2007
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    13.05.2008    
IPC:
G01N 23/04 (2006.01), H01J 35/14 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Str. 22, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
ERLER, Marco [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: ERLER, Marco; (DE)
Vertreter: BRESSEL UND PARTNER; Radickestrasse 48, 12489 Berlin (DE)
Prioritätsdaten:
10 2006 032 607.5 11.07.2006 DE
Titel (DE) ANORDNUNG ZUR ERZEUGUNG ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DER ANORDNUNG
(EN) ARRANGEMENT FOR PRODUCING ELECTROMAGNETIC RADIATION AND METHOD FOR OPERATING SAID ARRANGEMENT
(FR) SYSTÈME POUR GÉNÉRER UN RAYONNEMENT ÉLECTROMAGNÉTIQUE ET PROCÉDÉ POUR FAIRE FONCTIONNER CE SYSTÈME
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben einer Anordnung, die ausgestaltet ist, elektromagnetische Strahlung, insbesondere Röntgenstrahlung oder extreme Ultraviolett-Strahlung, zu erzeugen, wobei Teilchen, insbesondere Elektronen, mittels einer einstellbaren Fokussierungseinrichtung (22) auf ein Target (5) gelenkt werden, so dass durch die Teilchen in dem Target (5) die elektromagnetische Strahlung erzeugt wird, zumindest ein Objekt, insbesondere ein Kalibrierobjekt (70), von der elektromagnetischen Strahlung durchstrahlt wird und ein Durchstrahlungsbild des Objekts aufgenommen wird, das Durchstrahlungsbild oder eine Mehrzahl der Durchstrahlungsbilder automatisch ausgewertet werden und in Abhängigkeit von der Auswertung die Fokussierungseinrichtung (22) eingestellt wird.
(EN)The invention relates to a method for operating an arrangement embodied to produce electromagnetic radiation, especially X-radiation or extreme ultraviolet radiation. The method according to the invention is characterized by guiding particles, especially electrons, onto a target (5) by means of an adjustable focusing device (22), the particles in the target (5) producing electromagnetic radiation. At least one object, especially a calibration object (70) is penetrated by the electromagnetic radiation and a radiogram of the object is recorded. Said radiogram or a plurality of radiograms is automatically evaluated and the focusing device (22) is adjusted depending on said evaluation.
(FR)L'invention concerne un procédé pour faire fonctionner un système conçu pour générer un rayonnement électromagnétique, en particulier un rayonnement X ou un rayonnement ultraviolet extrême. Selon ce procédé, des particules, en particulier des électrons, sont dirigées sur une cible (5) au moyen d'un dispositif de focalisation (22) réglable de sorte que le rayonnement électromagnétique soit généré dans la cible (5) par les particules; au moins un objet, en particulier un objet d'étalonnage (70), est traversé par le rayonnement électromagnétique et une radiographie de l'objet est enregistrée; cette radiographie ou une pluralité de radiographies est analysée automatiquement et le dispositif de focalisation (22) est réglé en fonction de cette analyse.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)